先进制造微细电火花加工技术.docVIP

摘 要：作为一种实用的微细加工技术，微细电火花加工在加工微细轴、微 小孔等小尺度的零件时具有独特的优越性。本文简略地介绍了微细电火花加工技 术的原理，分析了微细电火花加工的特点和优点，研究了微细电火花加工的关键 技术，并详细介绍了一种微细电火花加工装置及其应用。 关键词：微细电火花加工 原理 特点 关键技术 装置 应用 0.引言 微细加工技术是先进制造技术的重耍组成部分，是实现微机械产品的最基本 技术，不仅直接影响着尖端技术和国防工业的发展，而且还影响到机械产品的加 工精度和加工表面质量，影响产品的国际竞争力。目前，世界各国都非常重视微 细加工技术，将其作为发展先进制造技术屮的优先发展内容。作为微细加工技术 的一个重要分支，微细屯火花加工技术因其具有设备简单、可控性好、无切削力、 适用性强等一系列优点，在微小尺度零件的加丁中获得大量应用，受到国内外学 者的广泛关注。 微细电火花加工的原理及特点 1?1微细电火花加工原理 电火花加工（Electrical Discharge Machining）^指在绝缘介质中，通过工具电 极和工件之间脉冲性火花放屯时的电蚀现象对工件材料进行蚀出，以达到一?定的 形状尺寸和表面粗糙度要求的一种加工方法。 微细电火花加T.（micro Electro Discharge Machining,简称 micro-EDM）的原理 与普通电火花加工并无木质区别。电火花加工屮电极材料的蚀除过程是火花放电 时的电场力、磁力、热力、流体动力、电化学及胶体化学等综合作用的过程。当 脉冲电压施加到工具与工件电极Z间时，极间介质被击穿并形成一个极为细小的 放电通道。放电通道是由数量大体和等的带正电粒子（正离子）和带负电粒子（电 子）以及中性粒子（原子或分子）组成的等离子体。在极间屯场作用卜?，通道中的 正离子与电子高速地向阴极和阳极运动并发生剧烈碰撞，从而在放电通道m产生 人量的热；同时，阳极和阴极表面分别受到电子流和离子流的高速冲击，动能也 转换为热能，在电极放电点表面产生大量的热，整个放电通道形成一个瞬时热源, 其温度可达以上。另外，由于火花放电时的电流产生磁场，该磁场乂反过 來对电子流产生向心的磁压缩效应和周围介质惯性动力压缩效应的作用，通道瞬 间扩展受到很大阻力。故而放电开始阶段通道截而很小，而通道内由高温热膨胀 形成的初始压力可达数十甚至上百个千帕，高压高温的放电通道以及随后瞬时气 化形成的气体急速扩展、产生一个强烈的冲击波向四周传播。因此，火花放电， 蚀除材料的过程是热效应、屯磁效应、光效应、声效应及频率范围狼宽的电磁辐 射和爆炸冲击的综合过程，而这一过程一般只有10--10-%o微细电火花加工 也是利用脉冲电源，将高频放电能量输向放电间隙，依靠产生的高温热效应等综 合效应实现对材料的去除，进而达到对工件尺寸加工的目的。 1.2微细电火花加工的特点和优点 1.2.1微细电火花加工的特点 细微电火花加工的特点有： 电火花加工的放电面积很小：微细电火花加工的电极一般在p5100um 之间，对于一个甲511山的电极來说，放屯面积不到20unr ； 单个脉冲的放电能量很小：为保证加工的尺寸精度和表面质量，侮个电火 花放电的去除量应控制在0. rO.Olum的范围内，因此必须控制每个放电脉冲的 能量在io-6-io-7j之间，甚至更小； 放电蚀坑很小：由于电火花加工是基于放电时的热过程，因而放电Z后在 电极表面所形成的放电凹坑，其形状将与放电时的等温面基木相似，如果完成微 细加工并且尺寸精度达到亚微米级，放电凹坑的尺寸也必须达到亚微米级； 放电间隙很小：由于电火花加工是非接触加工，工具与工件之间有一定的 加工间隙。电火花加工的放电间隙随着加工条件的变化而变化，数值从数微米到 数百微米不等； 脉冲电源的频率高：由于每个电火屁脉冲的能量极低，为保证电火花具有 一定的效率，用于微细电火花加工的脉冲电源应具有很高的频率，理论上应高于 IMHzo 1.2.2细微电火花加工的优点 从原理上讲，微细电火花加工具有非接触、可操控性强、加工性能与材料硬 度强度无关、无切削力等优点。对几何形体加工适用性而言，微细电火花加工不 仅可以加工出平面和回转体，还可以加工出三维复杂自由曲面。同LIGA、光刻 等MEMS技术相比，微细电火花加工方法具有设备简单、可实施性强并具有三维 加工能力等优点。同时，这种方法所处理的材料非常广泛，不仅可以加工各种性 能优良的金属、合金，还可加工陶瓷、以及硅等半导体材料。微细电火花加工技 术具有强大的微尺度制造潜能，在微小尺度零件的加T屮有着不可替代的优越 性。 细微电火花加工的关键技术 微细电火花加工一般是指用棒状电极电火花加工或用线电极电火花磨削加 工微孔、微槽、窄缝、各种复杂形状及微细轴类零件的技术。由