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第 一 章 绪 论 .. ...… … , .. ..···········… … 1 1. 1 引 言‘. . . ... ... ..·········… … 1
1.2 高精 度 平 面 的 应 用 … 、二 、 . . . . … … 1
1.3 惯 性 约 束 聚 变 (工C F)对 高 精 度 光 学 元 件 加 工 的 要 求 . ... … … 2
1.吸 本 论 文 主 要 工 作 ... .. .. .. .. . .. ...… … 6
第 二 章 环 形 抛 光 技 术 ..… ,..… ,.… , … … 7
2. 1 高精 度 抛 光 的材 料 去 除 机 理 … … 7
2.2 高精 度 抛 光 技 术 的 概 述 ... ..… … 8
2.2. 1 高 精 度 抛 光 技 术 的 发 展 .. ...… … 8
2.2.2 传 统 抛 光 技 术 … … , ..… … 9
2.2.3 改 进 的传 统 抛 光 技 术 … … 9
2.2.4 新 原 理 加 工 方 法 二 ‘.… … ,.,… … ,... ..… … ,二 H
2.2.5 我 国 的 高精 度 表 面 加 工 技 术 的现 状 … … 13
2 .3 环 形 抛 光 原 理 . .. . . . . .. . . . ... .. .. . . . .. . . . . . . . .. . .. .. . . . . . … … 14
2.3 . 1 概 述 .. … ,… … ,.… … ,.,..… ,… 、. 、‘. . . .··… … 14
2.3.2 分 离 器 概 述 .. .. … … 14
2.3 .3 分 离 器 的 分 类 .… … 巧
2.3.4 环 形 抛 光 工 艺 ... ..… … ,二 17
2.3 .5 环 抛 工 艺 原 理 及 结 构 二 , .… … ,.… … 18
2 .3.6 环 形 抛 光 技 术 存 在 的 问 题 , ... .. . . … … 18
2.4 环 形 抛 光 技 术 的 研 究 目的 和 难 点 .… … ,. . . ...… … 19 第 三 章 磨 削 量 理 论 及 模 型 ... . . … … 21
日录3
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3. 1 国 内外 环 形 抛 光 及 磨 削 量 问题 研 究 情 况 . 山dd自‘乙白Q白L白自白Odd口OgQQQO9勺9门C白g9q9 Qj白Q乙日Q八9OO任O匕认任冷门日户八勺︶O︺︺1月︵工土1︹一︹才月月白件曰
3.2 磨 削 量 模 型 .. ... ..… …
3 .2 . 1 抛 光 过 程 磨 削 量 分 析 ... .… … ,.
3·2. 2 假 设 ... .. ...… …
3 .2 .3 相 对 运 动 分 析 . … …
3. 2 .4 相 对 磨 削 量 . . . . . .. . . . . .. .… …
3 . 3 磨 削 量 规 律 .. . . . . . .. . . . .. . . . . . … …
参 数 确 定 . … …
3 . 3 . 2 磨 削 量 分 布 规 律 .
3.4 压 强 对 磨 削 量 的 影 响
3 . 4 压 强 均 匀 分 布 的情 况 .
3 . 4 . 2 存 在 压 强 梯 度 的情 况 .
3 .5 速 度 对 磨 削 量 的 影 响 .… …
3 .5 . 1 参 数 设 定 ... ... .… …
3.5.2 转 速 比对 磨 削 量 的 影 响 … …
3 .5 .3 转 速 比对 相 对 磨 削 量 的 影 响 .
3.6 偏 心 距 对 磨 削 量 的 影 响 … …
3.6 . 1 参 数 设 定 . ... ... .… …
3.6 .2 偏 心 距 对 磨 削 均 匀 的影 响 .… 3 3
3.6 .3 偏 心 距 与 去 除 效 率 … … 3 3
3 .7 露 边 时 的 磨 削 量 . .. … … ddddQ口OOq 勺QJ︻廿︻口匕O一川一一.了‘了
第 四章 抛 光 中 的接 触 压 力 有 限元 分 析 .
4. 1 抛 光 沥 青 … ,,... … … ,..… …
4 .2 弹 性 分 析 简 化 ,. ... .… … ‘… …
4 . 3 有 限 元 分 析 原 理 和 过 程 … …
4 .3 . 1 有 限 元 分 析 原 理 … …
IV
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4 .3 .2 分 析 过 程 .. .. .. .. .. .. . ..… … 38
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