基于驻波原理的虚拟探针关键技术研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index: TH73 U.D.C: 621 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH ON THE KEY TECHNIQUES OF VIRTUAL PROBE BASED ON STANDING WAVE Candidate： Ni He Supervisor： Prof. Cui Jiwen Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Instrument Science and Technology Affiliation： Department of Automatic Measurement and Control Date of Defence： June, 2014 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 摘 要 对于微深孔、微深槽等大深径比微型工件的无损测量仍然是一个具有挑战 性的问题。随着工业技术的发展，不仅微深孔内径不断降低而且深度日益增加， 对测量的精度也提出了更高的要求。通常，测量具有大深径比微深孔有横切测 量方式和伸入式探针测量方式，其中，使用原子力显微镜或者扫描探针显微镜 对其横切面进行测量可以得到微深孔的特性，但是这类测量工具对切面的表面 光洁度要求较高并且其空间测量的能力较差。而对于直接深入微孔内部的探针 来说，探针难以小型化是制约其应用的主要问题。 本文的目的是设计一种用于测量大深径比工件的微型探针。探针的长径比 约为 200：1，探针杆的直径为 7μm，探针一端安装于振荡器上，振荡器振动时 将在探针杆上产生驻波，通常，常规探针会使用硬质的探针杆并且在其末端设 计一个微型球作为接触端，由于探针在稳定状态振动将形成驻波，自由端将形 成一个振幅大于探针杆的扇形区域。因此，该探针不需要接触球作为接触点， 仅使用自由端作为接触端即可，这种方法被称为虚拟探针技术，虚拟针尖的直 径为在 20~60μm 之间。 本文讨论了驻波的形成原因和虚拟探针的探测原理，针对石英音叉振荡器， 研究了如何制做并优化虚拟探针的特性，设计了用于虚拟探针的驱动和检测电 路，通过 16 位的数据采集系统采集探针的输出信号，系统的带宽保持在 500Hz， 实验测量得到数据采集系统的分辨力 0.153mV。使用压电陶瓷位移台对虚拟探 针的触测特性进行测量，得到了虚拟探针的空间位置分辨力为 35nm，虚拟探针 接触位置的重复性为 0.16μm。 此外，通常在微尺度探针探测时会出现的吸附效应在虚拟探针测量时没有 出现，虚拟探针很好的解决了微尺度探针探测时的吸附问题。 关键词：虚拟探针；测量大深径比小孔；虚拟针尖；驻波探针；石英音叉 I - Abstract Nondestructive measurement of microscale features remains a challenging metrology problem. With the development of industrial technology, for the high aspect ratio small hole, not only the inside diameter drops and the depth increases, but also the improves of measurement accuracy. Generally, to assess a high aspect ratio small hole it is currently common to cut a cross section and stretch the probe into the hole. For the first method, we usually measure the features of interest using an atomic force microscope, scanning probe microscope, or scanning electron microscope. Typically, these metrology tools may be suitable for surface finish measurement but often lack the capability for dimensional metrology. For the second on