pcb,体系稽查计划.docxVIP

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pcb,体系稽查计划   Isthereapre-startupchecklistfortheprecleanline?Isitcurrent(completelyfilledin)?   针对预清洁线是否有建立预先点检表单?是否已经执行?   Isthereobjectiveevidencethatthescrub/precleanchemistriesarebeinganalyzedbythelaboratoryonthedocumentedfrequency?   刷磨/预清洁化学药水是否有证据证明其有按照实验室文件规定的频率进行分析?      AreDumpandRemakeschedulesdocumentedfortheprecleanlineandobjectiveevidenceexistthattheyarebeingadheredtoo?   是否有证据证明预清洗倾槽与更曹计划有符合文件要求?   IsthereanevidencetodemonstratethatallchemicalsaremonitoredandcontrolledaslistedinWI?   是否有证据证明所有的化学品与WI上管控的物质有监督并管控?   Isallin-processWIPandmaterialsproperlyidentifiedand   controlledindesignatearea?   所有制程上的WIP与相应制定材料是否管控在制定的工作区内?   Isawaterbreaktestperformedeveryshifttoensurequalityofpre-clean?槽液测试是否每班测试一次以确保预清洁品质良好?   Istheirpositiveairpressurefromthecleaoomattheprecleanlineentranceintothecleaoom?   无尘室的预清洁线入口到无尘室是否有良好的压力?   Imaging干膜   Isthecleaoomwellcontrolledbytemperature,humidityandparticleswhichmeet10KMax.requirementandoutofcontrolnotification?Reviewobjectiveevidence.   无尘室的温度,湿度与尘埃粒子是否按照10K最高要求管控,并且有管控实效通知系统?   审核客观证据.   AretheresistlaminationandexposureareasinthecleaoomutilizingyellowlightinganddoallexteriorwindowshaveUVblockingfilm?无尘室的压膜与曝光区是否用的是黄灯并且所有的外部窗户使用的是UV膜?Isthereobjectiveevidencetodemonstratethatalldryfilmsand/orliquidresistarestoredintemperatureandhumiditycontrolenvironment?Also,inventoriedunderFIFOwithexpireddatecontrol?   是否有证据可以证明干膜或是湿膜储存在温度与湿度管控的环境内?并且,到期管控有先进先出目录?   Aretheretackyrollercleanmachinesinfrontofthelaminator?在压膜前是否有粘尘滚轮清洁机器?   Fordryfilmlamination,isthetemperatureofthelaminationrollercheckedandverifiedusinganinfraredmeter?   针对干膜压膜,是否检查了压膜滚轮的温度并使用红外线表进行确认?Isthereadocumentedresistinspectioncriteriawithpass/failguidelines?   是否有文件规定的干膜检验标准指导书以判定接受或判退?   Isallin-processWIPandmaterialsproperlyidentifiedand   controlledindesignatearea?Includingexpirationdateonagesensitivematerial?   所有的制程WIP与材料是否有相应的定义并管控在制定区域?包括老化敏感材料有效期过期?   Isthereadocumentedresiststrip/reworkprocedurewiththemaximumnumberofreworksidentified?   是否有文件规定干膜

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