先进制造技 术3(生物制造与微纳制造)经典教程.pptVIP

沈阳工业大学 1）光刻电铸（LIGA）技术 工艺过程： ①采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂（图a），经X射线曝光蚀刻出图形（图b）； ②电铸，以曝光蚀刻的图形实体作为电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属（图c），生成微铸件（图d） ③注射成形，以微铸件为模具，即可加工所要求的微零件（图e）。 纳米加工技术 LIGA法的工艺过程 a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻 c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件 d） 沈阳工业大学 2）半导体加工技术 半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工，指在以硅为主要材料的基片上进行沉积、光刻与蚀刻的工艺过程。半导体加工技术使微系统的制作具有低成本、大批量生产的潜力。 纳米加工技术 沈阳工业大学 3）集成电路（IC）技术 集成电路（IC）技术是一种发展十分迅速且较成熟的制作大规模电路的加工技术，在微机械加工中使用较为普遍，是一种平面加工技术。但该技术的刻蚀深度只有数百纳米，且只限于制作硅材料的零部件。 纳米加工技术 沈阳工业大学 4）超微机械加工和电火花线切割加工 用小型精密金属切削机床及电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸左右的微机械零件，是一种三维实体加工技术，加工材料广泛，但多是单件加工、单件装配，费用较高。 纳米加工技术 沈阳工业大学 5）键合技术 键合技术是一种把两个固体部件在一定的温度与电压下直接键合在一起的封装技术，其间不用任何粘接剂，在键合过程中始终处于固相状态。 纳米加工技术 沈阳工业大学 * 先进制技术（ 三）生物制造与微纳制造 沈阳工业大学 在机器人、微机电系统、微型武器方面，将更多地应用生物动力、生物感知、生物智能，使机器人越来越像人或动物。 在纳米技术方面，实现纳米尺度上裁剪或连接DNA双螺旋，改造生命特征;实现各种蛋白质分子和酶分子的组装，构造纳米人工生物膜，实现跨膜物质选择运输和电子传递。 在医疗方面，三维生物组织培养技术不断突破，人体各种器官将能得到复制，会大大延长人类的生命。 在生物加工方面，通过生物方法制造纳米颗粒、纳米功能涂层、纳米微管、功能材料、微器件、微动力、微传感器、微系统等。 2. 生物制造的发展前景 生物制造的发展 沈阳工业大学 1. 生物制造的概念 生物制造？（清华大学颜永年教授） 通过制造科学与生命科学相结合，在微滴、细胞和分子尺度的科学层次上，通过受控组装完成器官、组织和仿生产品的制造之科学和技术总称。 生物制造的概念与内容 沈阳工业大学 目前生物制造工程的研究方向是如何把制造科学、生命科学、计算机技术、信息技术、材料科学各领域的最新成果组合起来，使其彼此沟通起来用于制造业，是生物制造工程的主要任务。归纳下来，目前有如下两方面6个研究方向： （1）仿生制造 生物组织和结构的仿生 生物遗传制造 生物控制的仿生 3. 生物制造工程的研究方向 生物制造的概念与内容 （2）生物成形制造 生物去除成形 生物约束成形 生物生长成形 沈阳工业大学 依靠生物DNA的自我复制，利用转基因实现一定几何形状、各几何形状位置不同的物理力学性能、生物材料和非生物材料的有机结合，并根据生成物的各种特征，采用人工控制生长单元体内的遗传信息为手段，直接生长出任何人类所需要的产品，如人或动物的骨骼、器官、肢体，以及生物材料结构的机器零部件等。 2）生物遗传制造 生物制造的概念与内容 沈阳工业大学 应用生物控制原理来计算、分析和控制制造过程。例如: 人工神经网络 遗传算法 仿生测量研究 面向生物工程的微操作系统原理 设计与制造基础 3）生物控制的仿生 生物制造的概念与内容 沈阳工业大学 找到“吃”某些工程材料的菌种，实现生物去除成形(Bioremoving forming)；复制或金属化 不同标准几何外形与亚结构的菌体，再经排序或微操作，实现生物约束成形(Biolimited forming)；甚至通过控制基因的遗传形状特征和遗传生理特征，生长出所需的外形和生理功能，实现生物生长成形(Biogrowing forming)。 生物去除成形 （Bioremoving Forming） 生物约束成形 （Biolimited Forming） 生物生长成形 （Biogrowing Forming） （2）生物成形制造 生物制造的概念与内容 沈阳工业大学 例： 氧化亚铁硫杆菌T—9菌株是中温、好氧、嗜酸、专性无机化能自氧菌，其主要生物特性是将亚铁离子氧化成高铁离子以及将其他低价无机硫化物氧化成硫酸和硫酸盐。加工时，可掩膜控制去除区域利用，利用细菌刻蚀达到成形的目的。 1）生物去除成形 a）