甲醛OTFT气体传感器的制备-红外及传感技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 HYPERLINK /view/63153.htm 常温下甲醛是一种无色，有强烈刺激性气味的 HYPERLINK /view/10082.htm 气体，易溶于水、醇和醚，是 一种重要的化工原料和有机溶剂。同时甲醛是一种原生质毒物，长时间暴露在低 浓度的甲醛气氛中，人们会出现身体不适：头痛、眼睛刺痛，并引起呼吸道过敏 反应，因此建立低浓度甲醛气体的检测方法具有重要的意义。检测甲醛的方法很 多，而传感器法备受青睐，相对于其他气体传感器，OTFT 具有响应速度快、选择 性好、可以在室温条件下工作等优点。 本文中 OTFT（有机薄膜晶体管）采用底栅底结构，以 450μm 重掺杂的 N 型 硅为衬底，195nm SiO2 为绝缘层，采用宽长比为 160 的钛/金叉指电极，电极的关 键尺寸为 25μm。实验过程中通过高纯氮气气喷制备敏感薄膜，得到不同系列的 OTFT 气体传感器。利用半导体测试仪 Keithley4200 检测了 OTFT 传感器的输出特 性、转移特性、对甲醛气体的气敏特性，计算迁移率、响应度、响应时间、恢复 性等性能参数，利用 SEM、AFM 等手段对薄膜进行形貌表征。 实验方案主要分为四个部分：（1）制备并探索 P3HT 和 P3HT/ZnO 敏感薄膜的 特性，结果发现 P3HT/ZnO 复合薄膜兼具了 P3HT 的导电性和 ZnO 对甲醛的敏感 性，又克服了高温的工作条件，实现室温下可检测；（2）针对 P3HT/ZnO 复合薄 膜，设计了两组对照实验，一组对照不同气喷量对复合薄膜的影响；另一组对照 不同质量配比对复合薄膜的影响。结果发现气喷量为 1ml，P3HT/ZnO 质量比为 1:1 是其最优化的复合参数；（3）采用最优的复合参数制备出 P3HT/ZnO OTFT，研究 其对低浓度甲醛的响应，在 100ppm 甲醛气氛下的重复性，长时间放置后器件的稳 定性，检测甲苯、一氧化碳、甲烷、硫化氢和氨气来研究其选择性。结果发现器 件重复性良好，但稳定性只有一周左右，最低检测甲醛浓度为 10ppm，对甲醛的 选择性良好，相对响应度均大于其它的干扰气体；（4）对比了 P3HT 和其它无机金 属氧化物复合的薄膜特性，重点研究了 P3HT/Fe2O3 与 P3HT/ZnO 的对比，结果发 现，P3HT/ZnO OTFT 具有更突出的电学输出特性和更为良好的甲醛气敏响应，也 更适合于制备甲醛 OTFT 气体传感器。 关键词：甲醛气体，OTFT 传感器，P3HT/ZnO 复合薄膜，气喷 I ABSTRACT ABSTRACT HCHO (formaldehyde) is a colorless and strongly stimulating smell gas at room temperature, is easily soluble in water, alcohol and ether, as well an important chemical industrial material and organic solvent, however, HCHO is very poisonous, prolonged exposure to low concentrations of formaldehyde, people feel uncomfortable, headache, pain in the eyes, respiratory allergies. So it is of great necessity to detect the HCHO. Many methods have been developed to detect HCHO, and the gas sensor gets much attention in this