矩形梁微机械陀螺与相关微机械动力学分析-精密仪器及机械专业毕业论文.docx

摘 摘 要 本论文设计、anT_和钡4试了一种便于检测、可在大气下工作的振动式微机械陀螺， 并结合陀螺的研制，研究了多项相关的微机械动力学问题。 P’E=，一—J———_‘——————一 本论文研究了有关空气阻尼和法向静电驱动的几个问题。提出了一种新的稀薄空 气压膜阻尼模型，模型的结果在临界气压的估计上比传统模型有明显提高。本文还提 出了开有高深宽比的阻尼孔的多孔板的压膜阻尼的修正模型，为采用深反应离子刻蚀 技术制作的阻尼孔的设计提供了手段。 ～． ， Y对于法向静电驱动问题，本论文作了较完整的介绍，对典型体微机械结构在法向 静电驱动时的边缘效应作了讨论，用保角变换方法得到了边缘效应的解析表达式，对 微结构的设计有实用价值。基于得到的关系，还分析了矩形梁．质量块结构陀螺中的横 向寄生振动。 本论文设计和研制成了一种采用矩形梁．质量块结构的微机械陀螺。陀螺的基本 振动结构为悬臂梁．质量块结构，粱的截面为接近于正方形的矩形。采用了由两个矩形 粱．质量块结构并列组成的对称结构，为抑制横向加速度效应的影响提供了可能。由于 采|耳j了先进的深反应离子刻蚀工艺，该陀螺的结构比本实验室此前开发的正交复合粱 陀螺更简单，工艺的复杂性也有所下降，成品率有所提高。 本沦文提出了一种振动式陀螺的二维驱动工作模式和相应的相位检测方法。在理 论上证明了当在驱动方向与敏感方向都施加驱动时，陀螺的输出信号为调