宽光谱监控电子束蒸发薄膜制备系统的研制与应用-光学专业毕业论文.docxVIP

宽 光 宽 光 谱 监 控 电 子 束 蒸 发 薄 膜 制 各 系 统 的 研 制 与 应 用 摘 要 摘要 光 学 薄 膜 材 料 在 人 们 的 生 活 中 变 得 日趋 重 要 。光 学 薄 膜 的 制 备 技 术 在 近 几 十 年 来 得 到 不 断 发 展 ，而 如 何 对 薄 膜 的 制 备 过 程 进 行 实 时 监 测 ，以及 如 何 通 过 监 测 干 预 制 备 过 程 使 过 程 得 到 有 序 的 控 制 ，一 直 是 人 们 所 关 注 的 课 题 。光 学 实 时 监 控 利 用 光 学 方 法 实 时 监 控 薄 膜 的 制 备 过 程 ，因 其 快 速 而 不 会 伤 害 薄 膜 的 特 性 而 受 到 重 视 。宽 光 谱 监 控 通 过 在 一 定 的波 长 范 围 内实 时 测 量 和 分 析 薄 膜 的特 征 光 谱 ，在 薄 膜 的 生 长 过 程 中 实 时 跟 踪 薄 膜 的 各 种 光 学 特 性 的变 化 过 程 。它 突 破 了传 统 的 石 英 晶 振 监 控 和 单 波 长 监 控 其 测 量 方 法 的 单 一 性 和 局 限 性 ，并 且 能 够 根 据 所 需 的 光 学 特 性 更 有 效 地 制 备 高 质 量 、高 性 能 的 光 学 薄 膜 。宽 光 谱 实 时 监 控 的 研 究对 薄 膜 制 备 的 发 展 具 有 重 要 意 义 。 本 论 文 设 计 并 实 现 了基 于 真 空 电子 束 蒸 发 的 实 时 宽 光 谱 监 控 薄 膜 制 备 系 统 。 由 于 从 实 用 性 、通 用 性 和 可 扩 展 性 的 角 度 设 计 了此 系 统 ，并 使 用 新 型 近 红 外 集 成 多光 栅 线 阵/面 阵 C C O 探 测 器式 光 谱 仪 和 近 红 外 宽光 谱 光 源 对 薄膜 制 备过 程 进 行 监 控 ，它 不 仅 支 持 宽 光 谱 监 控 自动 生 长 薄 膜 材 料 ，也 兼 容 单 波 长 监 控 自动 生 长 薄 膜 材 料 ， 同时 也 能 适 应 新 的 监 控 方 法 。 在 此 基 础 上 ，论 文 研 究 了 宽 光 谱 监 控 涉 及 的各 种 光 谱 分 析 算 法 ，包 括 各 种 噪 声过 滤 算 法 和薄膜 生 长进 度 分析 算 法 ，分 析 了这 些 算 法 的可 行 性 和有 效 性 。 为 了验 证 系 统 的可 靠 性 和 各 宽 光 谱 监 控 算 法 的可 行 性 ，使 用 此 宽 光 谱 监 控 薄 膜 制 备 系 统 制 备 了 刀4 膜 系 的薄 膜 。 最 后 ，使 用 Z 扫 描 测 量 技 术 测 量 了用 SIOx/ S IO : 超 晶 格 制 备 方 法 制 备 的尺 寸 可 控 的硅 纳 米 晶 的 非 线 性 光 学 性 质 ，分 析 了量 子 限制 效 应 对 于 硅 纳 米 晶 的 非 线 性 光 学 性 质 的 影 响 。 关 键 词 : 光 学 薄 膜 制 备 ，光 学 实 时监 控 ，宽光 谱 监 控 ，硅 纳 米 晶 ，非 线 性 光 学 性 质 中 图分类 号 : 0 43 ，T P3 址 日 人学 硕 f 学 位 论 文 宽 光 宽 光 谱 监 控 电子 束 蒸 发 薄 膜 制 备 系 统 的研 制 一与应 用 A B S T R A C T A B S T R A C T O P tic a l th in f ilm s h a v e b e e n P la y in g a m o re a n d 一n o 一e i一n P o rta n t ro le in th e d a ily 1if e o f th e h u m a n k in d . A s a re su lt，th e m a n u f ae tu rin g te e h n o lo g y o f o P tie a l th in f ilm s h a s ra P id ly e v o lv e d in th e P a st f ew d e e a d e s . O n e o f th e m o st s ig n if ie a n t e o n trib u tio n s to th e e v o lv e m e n t 15 th e d e v e lo P m e n t o f in 一