材料研究法方法十三电子显微镜的成像原理及二次电子像.pptVIP

球状物质的二次电子像 从图片可以看出，球状颗粒的边部亮度高，内部亮度低。由于边缘部位的夹角α更大，产生的二次电子数量更多。 (4) 二次电子像 片状物质的二次电子像 片状颗粒边缘亮度高。 颗粒表面亮度均匀，说明颗粒比较平整，无褶曲。 管状(针状、柱状)物质的二次电子像 管的边部亮度高，中部亮度低。 晶体结晶颗粒的二次电子像 晶体的每个晶面亮度有差异，说明每个面与电子束的夹角α不同。 二次电子像所反映的主要为物质的形貌，因此也把二次电子像称为形貌像。 一种水质过滤器滤芯的二次电子像 利用其网状结构实现对水中物理悬浮物的过滤。 氧化钛纳米纤维的二次电子像 在紫外光的照射下，可实现光诱导超疏水——超亲水可逆转变，用作“光开关” 。 球形石英粉的二次电子像 导热系数小，膨胀系数小，用作微电子元件基板及封装，可作为大规模、超大规模集成电路理想的基板材料和封装材料。 一种α- Al2O3精密陶瓷原料的二次电子像 白度高、粒度分布窄、烧结活性高，其制品收缩率稳定、成瓷密度大、机械强度高、电绝缘性能好，导热性能好、耐高温性能优异。 特别适于制备电子陶瓷基板、火花塞、真空电子管壳等电子陶瓷，也可用于耐磨陶瓷，具有高的强度和耐磨性能。 高岭石的手风琴状形貌 多水高岭石(埃洛石)的管状形貌 (a) 原图 (b) 锐化 (c) 提取边界 (d) 计算粒度分布 利用二次电子像计算粒度分布举例 * (5) 二次电子像的优点 （1） 分辨率高，最高可达10?； （2） 放大倍数灵活，几十到100万倍可调； （3） 景深大，所以立体感强； （4） 反差对比度好，图象细节清楚； （5） 可以与成分分布状态结合观察，综合分析。 作业 1 试论述电子显微镜的成像原理。 2 试论述二次电子像的产生、采集及意义。 第二章 电子显微镜 (二）电子显微镜的成像原理及二次电子像 电子显微镜的成像原理 电子显微镜的放大倍数 电子束与样品的作用区域 二次电子与二次电子像 光学显微镜的成像原理 利用透镜与介质(空气)的折射率差异，导致光线发生偏转。 凸透镜对物体放大。 1. 电子显微镜的成像原理 电磁透镜的聚焦作用，使得电子束聚焦到很细的一束照射在样品上。 (电子显微分析技术也称之为微束分析技术) 扫描线圈：在电子显微镜中的可运动部件。在程序精确控制下，可前后左右移动，随之带动电子束在样品表面一个微小区域前后左右移动。 一般地，控制电子束在样品表面的一个微小区域内，做逐点、逐行扫描移动。 当电子束在其中每一点时，都采集一次信号信息，最后把逐点、逐行移动时采集的全部信息，按信号强弱显示在一张图形上，得到完整的对应于样品表面微小区域的图形，称之为扫描电镜的图像。 样品中的该区域，大小为24μm ×18μm，电子束的束斑直径10nm，控制电子束在该区域内逐点移动(1280×960)。 (点间距离=19nm) 把各点收集到的信号，按强弱转化成256级灰度。 照片特征：1280×960像素，256级灰度。 并标注工作电压、放大倍数、长度标尺、照片编号等。 由于图像显示时可改变大小，放大倍数是如何标注的？ 2. 电子显微镜的放大倍数 若入射电子束在样品表面扫描的幅度为As，在荧光屏显示的宽度为Ac，则扫描电镜的放大倍数为: M=Ac/As 假定荧光屏尺寸是固定不变的，则放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度来实现的。 但是目前都采用电脑显示，图像尺寸是可变的，图像上的放大倍数是按图像的标准尺寸120mm×90mm进行标注的(老式的120胶卷每张照片的尺寸)。 实际应用时，更应关注图上的长度标尺。 老式电镜的屏幕一般为5英寸×4英寸 拍照用120胶卷。 拍摄的胶片上标注的放大倍数是真实的放大倍数。洗出的等大的照片也一样。 新式电镜配备了多种类型的显示器，所以照片尺寸不确定，但照片上标示的放大倍数依然按120mm×90mm标注。 上图可看到逐行扫描得到的电镜照片。 目前的电镜放大倍数可以从10倍到100万倍、甚至300万倍连续可调。 电子显微镜的放大倍数能无穷提高吗？ 取决于电子束的束斑直径——相当于电子显微镜的分辨率。 样品中的该区域，大小为24μm ×18μm，控制电子束在该区域内逐点移动(1280×960)。(点间距离=19nm) 若束斑直径为100nm，则电子束移动时，相邻的点重叠很多，因此产生的信号也会彼此重复，则图像不清晰。 若束斑直径为5nm，则扫描的区域即使更小，比如，从24μm ×18μm小到12 μm ×9μm ，按1280×960计算，点间距离亦有9nm，这时的图像放大倍数可达1万倍。