尘埃颗粒与等离子体鞘层相互作用的数值模拟-核聚变与等离子体物理.PDF

第 28 卷 第 1 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.28, No.1 2 0 0 8 年 3 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics March 2008 文章编号：0254−6086(2008)01−0040−05 尘埃颗粒与等离子体鞘层相互作用的数值模拟 吴 静，张鹏云，王德真 (大连理工大学物理与光电工程学院，三束材料改性国家重点实验室，大连 116024) 摘 要：通过求解一维稳态的尘埃等离子体鞘层模型，得到了等离子体鞘层势、正离子密度、电子密度和尘 埃颗粒密度随一维横向的分布，Bohm 判据及鞘层边界无量纲 Bohm 速度随尘埃密度的变化曲线，尘埃颗粒的带 电量和尘埃密度的关系，尘埃颗粒的温度对尘埃颗粒自身在鞘层中分布的影响。结果表明，随着尘埃密度的增加， 鞘层的厚度在减小，鞘层内的电子密度在下降，而且尘埃颗粒的带电量也在逐渐减少；随着尘埃温度的增加，鞘 层的厚度减小，电子密度下降，而且鞘层附近的尘埃颗粒在逐渐增多。 关键词：鞘层；尘埃颗粒；密度分布 中图分类号：O53 文献标识码：A 1 引言 体鞘层中的输运和分布情况的研究等[10, 11] 。关于无 等离子体加工过程中的粒子行为的研究是目 尘 埃 等 离 子 体 鞘 层 的 玻 姆 判 据 ， Franklin 和 前尘埃等离子体中最重要的研究内容之一，通过研 Kaganovic 已经做了不少的研究，但是关于尘埃等 究尘埃等离子体中尘埃粒子的形成机理、条件、行 离子体鞘层的研究尚不够系统。Wang[12]、Gu[13]等 为以及与等离子体的关系来达到控制及避免在半 人作了一些深入的研究。近来，尘粒上电荷涨落的 导体生产中尘埃颗粒所造成的基片污染或提高其 影响已有研究报道。Cui 和 Goree 讨论了在等离子 它等离子体精加工质量的目的。一旦等离子体中形 体中由于不连续电荷 (离子 , 电子)形成的集合电流 成了尘埃颗粒，尘埃颗粒的输运特性对工件基片表 使单个尘埃颗粒表面上的电荷量按平衡值 Q 波动。 面的污染就会起决定性作用。因此，为了达到控制 尘埃粒子的密度足够大时，尘粒之间的强耦合也会 及避免污染的目的，必须研究尘埃等离子体中的粒 使其荷电量下降。Cui 和 Goree 等人先用连续电荷 子输运。多数情况下尘埃以粒子云的形式出现，且 模型计算集合电流，然后导出单位时间内粒子( 电 悬浮在等离子体中。1985 年，Roth 和 Spear 等人[1] 子，离子)集合的几率。 首先利用了激光散射法在射频 (RF)放电中观测到 尘埃粒子聚集在等离子体鞘层边界附近。 Selwyn 2 尘埃等离子模型 等人[2]利用视频激光扫描方法也观察到此现象。 2.1 尘埃等离子体鞘层模型 Graves 等人[3]和 Watanabe[4]证实，在直流(DC)和射 考虑一维稳态的尘埃等离子体鞘层模型，等离 频(RF)放电中，尘埃粒子聚集在等离子体鞘层的边 子体中的三种带电粒子分别是电子、离子和尘埃颗 界附近。 粒。电子温度为 T ，尘埃颗粒温度为T 。在这里， e