半导体行业用水标准.docxVIP

电子行业水质标准 1.电子工业与超纯水 在半导体制作工艺中， 80% 以上的工序要经过化学处理， 而每一道化学处理 都离不开超纯水； 在硅片的处理工序中， 一半以上的工序经过超纯水清洗后便直 接进入高温处理过程， 此时如水中含有杂质便会进入硅片， 造成器件性能下降成 品率低。 电子工业提出的超纯水电阻率≥ 18M Ω.cm (25 ℃),已极其接近理论纯水水质 18.3 M Ω.cm(25 ℃ )。对电解质、 DO 、TOC 、SIO2 、颗粒及细菌等技术指标提 出更高要求。如256 兆位的动态随机储存器生产工艺， 光刻线条宽已达 0.1 微米 , 要保证这一指标 ,超纯水中颗粒径就得≤ 0.05 μm,而且≥0.05 μm 不得超过 500 个/ 升超纯水。 2、 水质标准 超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。 2.1 电子级水国家标准 :详见表 2.1 3、 超纯水中杂质的污染源 3.1 制备超纯水的水源 由于水是一种溶解能力很强的溶剂 ,因此天然水中含有各种盐类和化合物 ,溶 有 CO2, 还有胶体 (包括硅胶和腐殖质胶体 ),天然水中还存在大量的非溶解性质 , 包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。 3.2 材料的影响 : 制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的 ,金属在水中会有痕 量溶解 ,造成金属离子污染。一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增 塑剂紫外吸光剂着色剂， 引入大量的金属、 非金属杂质、同时还会带来有机污染。 材质的污染主要以污染值来衡量， 所谓污染值是指， 单位面积的材料使单位 体积的纯水电阻率的增加值。表 3.2 分别列出了各种材料的污染值和 TOC 的溶 出值。 表 3.2 各种材料的污染值 (TOC 的溶出值 ) 水的电阻值 在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差， 电阻值小，导电性能就良好。根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值 R 大小与电极的垂直截面积 F 成反比，与电极之间的距离 L 成正比。 水的电阻率的大小， 与水中含盐量的多少， 水中离子浓度、 离子的电荷数以 及离子的运动速度有关。因此，纯净的水电阻率很大，超纯水电阻率就更大。水 越纯，电阻率越大。 4.1 水的电导率 由于水中含有各种溶解盐类， 并以离子的形态存在， 当水中插入一对电极时， 通电之后，在电场的作用下， 带电的离子就产生一定方向的移动， 水中的阴离子 移向阳极，阳离子移向阴极，使水溶液起导电作用。水的导电能力的强弱程度， 就称为电导度 S（或称电导）。电导度反映了水中含盐量的多少，是水的纯净程 度的一个重要指标。水越纯净，含盐量越少，电阻越大，电导度越小。超纯水几 乎不能导电。电导的大小等于电阻值的倒数。即 S=1/R ，S=(1/ ρ)·(F/L) 。1/ρ就 称为电导率，其国际制单位为西·米 -1(S·m-1) 理论上 ,水中由于水本身的电解作用而只存在两种离子即 H+ 和 OH -, 其浓 度如下 [H+] = [OH -] = 10 -7 eq/l (or 10 -10 eq/ml) 这些浓度的离子经计算而得到理论的电导率为 : =0.055 S/cm 在 25 °C 电阻率为电导率的倒数 ,所以 R=18. 2M Ω.CM 在 25°C 电阻率的检测 :电阻率在线测试仪 (中科院半导体所参加起草制定 ) 电阻率是指在一定的温度下 ,边长 1cm 的立方体水 ,其相对的两侧面之间的 电阻 ,其单位是欧姆 .厘米 (Ω.cm) 。水的电导率是电阻率的倒数，单位是西门子 / 厘米（ s/cm ）。 4．3水的温度与电导率关系 影响水的电阻率值的因素很多 ,例如测量方法、电极方向、电容效应、极化 效应、水的纯度、测量温度等。 超纯水的测量必须采用带温度补偿的仪器进行在 线测试，而且定期到法定机构计量校正。 温度校正是将测量的电阻率值换算到 25 ℃时的电阻率值，以便于比较不同水质。 表4. 1 水的温度 (t) 、电导率 K 、电阻率及温度系数 K 的关系 4.4 纯水的电导率象征水中有导电能力的各种可溶性的电解质的含量 ,因此 ,通过 测量水的电导率值可以近似的换算成总溶解性固体 ,此法换算出来的总溶液解性 固体值对水处理设计仍然是重要的参考数据。 表 4. 2 水的电导率 电阻率与溶解性固体之间的关系 超纯水电阻率与温度的关系 电阻率 (兆欧 .厘米 ) 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 温度 (摄氏度 ) 温度℃ 电阻率 MΩ.CM 温度℃ 电阻率 MΩ.CM 0 86.21 5 59.9 55 4.75