特种加工 第六章.pptVIP

离子镀技术已用于镀制润滑膜、耐热膜、耐蚀膜、耐磨膜、装饰膜和电气膜等 氮化钛18Ｋ金镀膜　耐磨性　耐腐蚀性　价格1/60　用于首饰、景泰蓝、金笔套、餐具等。 离子镀代替镀硬铬，可减少公害。 航空工业中可采用离子镀铝代替飞机部件镀镉。 用离子镀方法在切削工具表面镀氮化钛、碳化钛等超硬层，可以提高刀具的耐用度。 　可用于处理齿轮滚刀、铣刀 离子镀的种类有很多，常用的离子镀是以蒸发镀膜为基础的，即在真空中使被蒸发物质气化，在气体离子或被蒸发物质离子冲击作用的同时，把蒸发物蒸镀在基体上。空心阴极放电离子镀效率高、膜层质量好。 （三）离子注入加工 离子注入是向工件表面直接注入离子，它不受热力学限制，可以注入任何离子，并且注入量可以精确控制。 用硼、磷等注入半导体，用以改变导电形式和制造P-N结。由于离子注入的数量、 P-N结的含量、注入的区域都可以精确控制，可以满足热扩散法难以达到的要求。 离子注入可以改变金属表面的物理化学性能，制得新的合金从而改善金属表面的耐腐蚀性能、耐磨性能、硬度、抗疲劳性能、润滑性能等。 　　　离子注入对金属表面进行掺杂，是在非平衡状态下进行的，能注入互不相容的杂质而形成一般冶金工艺无法制得的一些新的合金。如将Ｗ注入到低温的Cu靶中，可以得到W-Cu合金。　 　　　离子注入可以提高材料的耐蚀性。例如把Cr注入Cu，能得到一种新的亚稳态的表面相，从而改善耐蚀性。 　　　离子注入还能改善金属材料的抗氧化性能。 　　离子注入可以改善金属材料的耐磨性能。例如在低碳钢中注入Ｎ、Ｂ、Ｍｏ等，在磨损过程中，表面局部温升形成温度梯度，使注入离子向衬底扩散，同时注入离子又被表面的错位网络限制，不能推移很深。这样，在材料磨损过程中，不断在表面形成硬化层，提高了耐磨性。 　　离子注入可以提高金属材料的硬度，这是因为注入离子及其凝集物将引起材料晶格畸变、缺陷增多的缘故。例如在纯铁中注入Ｂ，其显微硬度可提高20％。用硅注入铁，可形成马氏体结构的强化层。 　 　　离子注入可以改善金属材料的润滑性能，这时因为离子注入表层，在相对摩擦过程中，注入离子起到润滑作用，提高材料的使用寿命。例如在碳化钨中注入Ｃ、Ｎ可延长其工作寿命。 电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小面积上，在极短的时间内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化和气化，被真空系统抽走。 离子束比电子束具有更大的撞击动能，它是靠微观的机械撞击能量、而不是靠动能转化为热能来加工的。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。 （四）焊接 高能量密度的电子束 毛细管状的熔池，沿着焊缝与电子束做相对运动 能量密度高，焊接速度快，焊缝深而窄，焊件热影响区小，变形小。不用焊条，真空中进行，焊缝化学成分纯净，强度高于母材。 可焊接钽、铌、钼等难熔金属，也可焊接钛、锆、铀等活泼金属， 可焊接普通碳钢、不锈钢、合金钢、铜、铝，可焊接很薄和很厚的工件 可实现异种金属的焊接　如铜和不锈钢的焊接　钢和硬质合金的焊接　铬、镍和钼的焊接等。 热影响小、变形小，工件精加工后焊接，可将复杂的零件分成几个零件进行加工，单独使用最合适的材料，然后用电子束焊接到一起。 （五）热处理 加热和冷却速度很快，奥氏体化时间很短，只有几分之一秒到千分之一秒，可得到奥氏体超细晶粒组织　高硬度 跟激光相比，热转换效率高，防止材料氧化，功率比激光功率大。 金属达到表面熔化，可在熔化区添加元素，使金属表面改性，形成新的合金层，获得更好的物理力学性能。 铸铁熔化处理　莱氏体组织　抗滑动磨损 铝、钛、镍　添加元素　　耐磨性能 （六）光刻 用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂，由于入射电子与高分子相碰撞，使分子的链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，称为电子束曝光，留下潜像，然后显影、蒸镀、离子刻蚀，去掉抗蚀剂，留下图形。 可用于加工集成电路 精密印刷版等。 第二节 离子束加工 一、离子束加工原理、分类和特点 二、离子束加工装置 三、离子束加工的应用 一、离子束加工原理、分类和特点 （一）离子束加工的原理和物理基础 （二）离子束加工分类 （三）离子束加工的特点 （一）离子束加工的原理和物理基础 离子带正电荷，质量比电子大成千上万倍，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它是靠微观的机械撞击能量、而不是靠动能转化为热能来加工的。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。 （二）离子束加工分类 离子刻蚀 离子溅射沉积 离子镀 离子注入 （三）离子束加工的特点 （1）由于离子束可以通过电