微机械音叉陀螺的误差源研究若＝立r0－＿BW］1j.pdf

传 感 技 术 学 报 4朗 微机械音叉 陀螺 的误差源研究 ??r2-Lc 李万玉 阮爱武。罗晋生 冯培德． 7 彬 ， ● ● _ _ — — — 一 - _ _ — — — _ 一 2， 一2 ‘,STY_工业总公司第6]8研究所七室，西安’。oj ／ (!西北工业大学自动控制系，西安，7l0072) (西安 交通 大学 电子与信息学院，西安 ，710049) 摘要 定性地讨论 了微机械音又陀螺特有的一些误差泺 ．主要有机械结构的Brownian 噪声、电路噪声、机械耦舍误差及 电子机械耦合误差等 对上述误差源的认识是微结构制造 和 电路设计 的基础 美键词 微机械音又 陀螺 Brown[an噪声 电路噪声 机械耦合误差 电子机械耦 舍误 差 1 引 言 徽机械 陀螺通过检测哥 氏力 (或 力矩 )引起的线位移 (或角位移)，而 间接 获得输八 角速 度信息 哥氏力 (或力矩 )很小 ，产生的位移也很 小 (一般在皮米量级)，因此 ，微机械 陀螺的性 能极易受到各种误差源的干扰．这些误差源主要是 由制造过程中产生的各种偏 差和特 殊的 设计造成 的．本文将 微机械梳状驱动音叉陀螺为对 象，定性讨论它所 特有 的一些误差源． 2 微机械结构 的Brownian噪声 微机械 {i}c状驱动音叉陀螺 的结构和工作原理参见文献[1]，本文将不赘述．陀螺 的精度 指陀螺能够 产生可靠输 出信号的最小辅人 角速度 ，表征 了陀螺测量 相对于惯性空间 的微小 角速度 的能力 ．对于本文讨论 的微机械音叉 陀螺 一 ． 若 =立9r．0 _-BW] (1j E式中 Bw]一9(3为系统的带 宽．n、：分别为陀螺的驱动和敏感模态的最大振幅， 、 ( 分 别为敏感 电容 的初始值和最小变化值． 微机械结构的 Brownian噪声的存在 ，限制 了陀螺测量最小输^角速度的能力，Browni ，f】噪声等效角速度是 船 的下限 其它误差源都可通过 改进 设计或制造工艺来消除或犬幅 度减小 ．而 Brownian噪声总是存在 的 l 米稿 _l 1】 r ·川 244 传 感 拄 术 学 报 由气体分子的碰撞及支撑结构的牯滞弹性效应引起的热噪声 即为 Brownain噪声 ．根 据热力学 原理 ，对于每个 能量贮存模态 ，一个平衡 系统的热能为 KeT／2，7’为绝对温度 ， 一 1．37×10。”J／K 为 Boltzmann常数．微机械 陀螺 的微小质量意 味着在分子水平 由这种热 能产生 的激 发较 大．图 1(a)为陀螺 的质量一弹簧一阻尼集中参数模 型 ，可 用其 等教 并联 RI，C 电路推导 Brownian噪声的等效角速度 t图 1(b))．在等效 电路 中，各 电量与相应的机械 量成 正 比．Brownian噪声具有随机 的零 均值 高斯 分布．根据 热噪声的Nyquis~公式 ，Brownian噪 声的电流功率谱密度为 4KBT (2) 一 — ¨厂一 ■ 用机械量 取代 上式 的电量 ，并根据 哥 氏加速度 的定义 ，可得陀螺的 Brownian噪声的等教 角 速 度均 方根谱密度 (单位 是 (。)，(s·Hz ))为 (3) ． M 为音叉的质量 ， 、 分别为陀螺敏感模态 的品质