二氧化钛薄膜制备版及其性能研究-光学工程专业毕业论文.docxVIP

硕士学位论文 硕士学位论文 二氧化钛薄膜制备及其性能研究 目 录 摘要 I Abstract II 1绪论 1 1．1选题的研究背景和科学意义 ．．1 1．1．1选题的研究背景 1 1．1．2选题的科学意义 1 1．2薄膜制备方法 一2 1．3二氧化钛薄膜的研究进展 ．．3 1．3．1二氧化钛的晶体结构 3 1．3．2溶胶．凝胶法制备二氧化钛薄膜的国内外研究现状 ．．5 1．4本论文的研究内容 ．．9 1．5本论文的结构安排 10 1．6本章小结 11 2实验原理及测试表征手段 ．．12 2．1静电喷射装置及理论研究 12 2．1．1静电喷射装置 ．12 2．1．2静电喷射法理论研究 ．12 2．2旋涂法理论原理及经典模型 14 2．2．1旋涂法理论原理 ．14 2．2．2旋涂法经典模型 ．14 2．3测试表征手段 16 2．3．1二氧化钛薄膜的晶体结构测量 ．16 2．3．2二氧化钛薄膜的表面形貌测量 ．17 2．3．3二氧化钛薄膜的透光性测量 ．18 2．4本章小结 19 3二氧化钛薄膜的制备 ．．20 3．1实验方案的确立 20 3．1．1二氧化钛溶胶制备方案选择 ．20 3．1．2实验材料 ．21 3．1．3溶胶的制各方法 ．21 3．2样品基底的处理方法 23 3．3样品的后续热处理 24 万方数据 目录 目录 硕士学位论文 3。4薄膜的制备 24 3．4．1薄膜的旋涂制备 24 3．4．2薄膜的提拉制备 ．27 3．4．3薄膜的静电喷射法制备 ．30 3．5本章小结 40 4薄膜的性能研究 ．．41 4．1薄膜的晶体结构研究 4l 4。2静电喷法和旋涂法比较 42 4．3静电喷射法在玻璃基底上制备二氧化钛薄膜 42 4．3．1透光率分析 ．42 4．3．2薄膜厚度受喷射时间的影响 ．43 4．3．3薄膜的透过率和雾度受喷射时间的影响 ．44 4．3．2粗糙度分析 ．45 4．4静电喷射法在柔性基底上制备二氧化钛薄膜及性能分析 48 4。4。1在铝箔上制备二氧化钛薄膜 ．48 4．4．2柔韧性分析 ．49 4．4．3附着力测试 ．49 4．4．4结果与分析 ．50 4．5本章小结 5 1 5总结与展望 ．．53 5．1工作总结 53 5。2展望 ．54 致 谢 55 参考文献 ．56 万方数据 硕士学位论文 硕士学位论文 二氧化钛薄膜制备及其性能研究 1绪论 1．1选题的研究背景和科学意义 1．1．1选题的研究背景 自18世纪60年代——第一次工业革命以来，人类社会的科学技术取得了极大地进 步，人类的生活质量和生活水平也不断地得到提高，但是资源被过度的开发，能源也被 过度利用，这使得自然环境受到了大面积的污染，自然灾害不断发生，直接危及人类的 生存和发展。所以，有效利用资源、开发新能源与环境保护成为的最重要、最迫切需要 解决的问题。 二氧化钛作为一种价格低廉、性能稳定、无害无污染的半导体材料【l】。自从1972 年Fujishima[2]在Nature上发表了Ti02电极在可见光下能电解水以来，Ti02犹如一颗耀 眼的新星，受到了广大科研工作者的追捧，它的一些其他的优点也被不断的发现并投入 到生产中。Ti02不仅被广泛应用于油漆、涂料、化纤、塑料、化妆品、陶瓷等领域，而 且也用于太阳能电池和自清洁涂层等领域。而二氧化钛(Ti02)薄膜是一种折射率较高 (2．2．2．7)[3】对可见光和近红外光高透(透明波段为O．36～9um)【l】、对紫外光强烈吸收 的光学薄膜，具有良好的耐空间辐照特性，在传统分层介质减反射膜系和新型折射率渐 变薄膜结构中具有不可替代的优势． 1．1．2选题的科学意义 由于二氧化钛具有的一些特性，得它能够在能源利用一太阳能电池和环境保护一自清洁 涂层两方面都能够起到极大的作用。 1)在太阳能电池方面 由于二氧化钛禁带宽度为3．2eV，且具有较大的表面积和较高的孔隙率可以产生有 效的光的吸收和光收集效率【4】，使得二氧化钛在太阳能电池方面的研究也进入了高速发 展的阶段。2009年4月，日本Miyasaka等[5]人制备了钙钛矿太阳能电池，当时的光电 转换效率为3．8％，五年后，钙钛矿太阳能电池的光电转化效应提升到了19．3％t61。其中 二氧化钛在这方面提供了不可磨灭的贡献。2012年Kim等以二氧化钛为电子传输材料， 首先发表了全固态钙钛矿敏化介孔太阳能电池，其稳定性超过500h；【7]2013年Noh等 将Ti02纳米颗粒作为介孔层，通过化学方法调节元素成分比例使得钙钛矿电池的效率 提高到12．3％；【8】2014年，Wojciechowski等用颗粒小于5nm的锐钛矿Ti02分散于乙醇 中，加入少量的10m01％TiAcAc(titanium diisoproxide bisacetyl