传感器与检测技术第六章电容式传感器.pptVIP

调频测量电路的特点是： 灵敏度高，可测量0.01μm甚至更小的位移变化量； 可以输出频率信号，易于和数字式仪表及计算机连接； 输出有较大的非线性，且受温度和连接电缆电容的影响较大，这给传感器和测量电路的设计带来一定的麻烦。 6.2 测量电路 3、谐振电路 电容传感器的电容Cx作为谐振回路(L2、C2、Cx)调谐电容的一部分。谐振回路通过电感耦合，从稳定的高频振荡器取得振荡电压。当传感器电容发生变化时，使得谐振回路的阻抗发生相应的变化，被转换为电压或电流，再经过放大、检波即可得到相应的输出。 6.2 测量电路 6.2 测量电路 4、运算放大器电路 输出电压与间隙成线性关系。 输出电压与极距成线性关系，这就从原理上解决了使用单个变极距型电容式传感器输出特性的非线性问题。 对于变面积型电容式传感器，可将传感器电容Cx和固定电容C0在电路中的位置对调，此时输出电压与极板面积成线性关系。 6.2 测量电路 ·选取C0等于传感器初始电容值Cx0，则电路输出电压的初始值为零。 ·固定电容C0在测量过程中，还起到了参比测量的作用。因而当C0和Cx结构参数及材料完全相同时，其环境温度对测量的影响可以得到补偿 上图所示电路输出电压的初始值不为零，为了实现零点迁移，可采用如图所示电路。 5、差动脉冲宽度调制电路 直流输出电压与输入(间隙变化)成线性关系。 6.2 测量电路 在双稳态触发器的两输出端A、B各自产生一宽度受C1、C2调制的方波脉冲。 当C1＝C2时 由于C1和C2的充电时间常数相同，A、B间的电压uAB为等宽矩形方波。 电路上各点电压波形如图所示。 6.2 测量电路 6.2 测量电路 当C1≠C2（如C1＞C2）时 则C1和C2充电时间常数不同，A、B间的电压uAB为不等宽矩形方波。 电路上各点电压波形如图所示。 6.2 测量电路 电容C1和C2的充电时间T1、T2分别为 一周期内（ T=T1+T2)输出直流电压UO为 考虑到充电电阻R1＝R2＝R，则得 输出直流电压UO正比于电容C1和C2的差值。 6.2 测量电路 对于差动变极距型电容式传感器 式中，d1、d2分别为差动电容C1、C2的极距。 设d1＝d0－Δd，d2＝d0＋Δd，则有 对于差动变面积型电容式传感器 差动脉冲调宽电路有如下特点： 不论是变极距型电容式传感器或变面积型电容式传感器，其输出都与输入变化量成线性关系。 双稳态触发器的输出信号一般为 100 kHz～1MHz的矩形波，不需要特殊电路，只要经过低通滤波器就可以得到较大的直流输出。 只需要一电压稳定度较高的直流电源，这比其他测量线路中要求高稳定度的稳频、稳幅高频交流电源易于做到。 调宽频率的变化对输出无影响。 由于低通滤波器的作用，对输出矩形波纯度要求不高 6.2 测量电路 广西大学电气工程学院 1.掌握传感器工作原理及特性　　　 2.掌握测量电路 3.了解传感器的应用 第六章 电容式传感器 传感器与检测技术 返回课程索引 6.1 工作原理及特性 工作原理:将被测量转化为电容量变化。 忽略边缘效应,两平行极板组成的电容器，其电容量为: d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 第六章 电容式传感器 ε0:真空中的介电常数 εr：介质的相对介电常数 1、变极距型电容传感器式 6.1 电容式传感器工作原理 保持两极板遮盖面积A和极板间介质不变，而使极距d随被测量改变。 当动极板靠近定极板移动Δd后，其电容量为： 由此可见，电容量C与Δd不是线性关系。 6.1 电容式传感器工作原理 C与d的关系可用如图曲线描述： 可以写成： 6.1 电容式传感器工作原理 当极距变化很小时，可利用泰勒展开式进行线性化 经线性化后灵敏度 电容变化量 6.1 电容式传感器工作原理 灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限制。 一般d0＝0.1～1mm左右。 电容量C与极距d呈非线性关系，为了减小非线性误差，通常极距变化范围?d/d0?0.01～0.1。 提高变极距型电容式传感器的灵敏度与减小非线性误差是相矛盾的 此类电容传感器仅适于微小位移的测量（0.01?m～数百微米）；非接触测量 工作特性： 减小极距d可使电容量加大，使灵敏度提高，但d过小容易引起电容击穿。在极板间放置一层固体介质来改善电容式传感器的特性，如图所示。 具有部分固体介质的变极距型电容式传感器的电容C可等效为两电容串联，可写成 6.1 电容式传感器工作原理 当动极板向下移动使空气隙的厚度d1减小△d时，电容式传感器的电容C将增大△C，可导出电容式传感器的电容相对变化为 式中 可写成级数形式 6.1 电