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考考虑虑工工艺艺参参数数变变化化的的安安全全时时钟钟布布线线算算法法
蔡懿慈, 熊焰, 洪先龙 and 刘毅
Citation: 中国科学F : 信息科学 35, 887 (2005); doi: 10.1360/zf2005-35-8-887
View online: ttp://engine.scic /doi/10.1360/zf2005-35-8-887
View Table of Contents: ttp://engine.scic /publis er/scp/journal/Sci Sin Info F/35/8
Publis ed by t e 《中国科学》杂志社
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1,2 1 2 2
蔡懿慈 熊 焰 洪先龙 刘 毅
(1 中国科学技术大学计算机科学与技术系, 合肥 230026; 2 清华大学计算机科学与技术系软件研究所,
北京 100084)
摘要 在超深亚微米(VDSM)工艺下, 由光刻工艺带来的光学邻近效应不可忽
略, 时钟偏差受到光学邻近效应等工艺参数变化的影响非常严重. 提出了一种带
缓冲器插入的安全时钟布线算法, 来防止因光学邻近造成线宽变化对时钟系统
的影响. 该算法提出了“分支敏感因子”(BSF) 的概念, 通过构造特殊的树型拓扑
结构和布线过程中的缓冲器插入等操作, 达到总体布线长度和偏差灵敏度的平
衡. 实验结果表明, 算法可以得到一个抗光学邻近效应工艺参数变化的可靠时钟
布线树, 时钟偏差被有效地控制在合理范围之内.
关键词 时钟布线 工艺参数变化 时钟偏差 分支敏感因子 缓冲器插入
在同步集成电路设计中, 时钟信号负责同步单元的协同工作, 它直接决定着
系统的正确性和可靠性. 当今的处理器时钟频率已达千兆赫兹, 时钟周期越来越
短, 这要求更加精确地控制时钟信号的传递. 时钟信号到达同步单元的先后关系
被定义为时钟偏差. 传统的时钟网络设计要求零偏差布线, 即信号同时到达所有
同步单元[1], 后来发展为有限偏差布线和有用偏差布线. 文献[2,3]提出了DME算
法(deferred-merge embedding), 以最小布线长度实现零偏差. 文献
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