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第一部分椭圆偏振光谱中的主角测量条件和方法研究
£2(妒一7【等“∞rf一一辫(I)a∞。
以上两式分别表示了n和k、£。和£:间的色散关系。实部可以通过对虚部的柯西主值积分得到,虚部亦可以通过对实部的柯西主值积分得到.
如图1.1所示,对于复折射率分别为五.和贰的两种介质,并具有一光滑平
整的界面,平行光从介质1一侧入射,在界面上发生反射和折射。入射光和界
面法线组成入射平面,反射光和折射光全都在入射面内。而且反射角和折射角分别满足反射定律和斯涅耳定律:
0.=0,,矗l sinol=丽2 sinO 2
其中0,(0。=0.)、0。和9:分别为入射角,反射角和折射角。
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图1.1光在各向同性介质界面处的反射和折射示意图。
一个平面偏振光可以分解为振动方向相互垂直,初相位相同的两个平面偏振光,因此,^于各向同性,一束自然光可以任意分解为振动方向相互垂直的两个振幅相等而相位各自独立无关的偏振光。当一束自然光照射到两种介质的分界面上时,则可以分解为光矢量在入射面内的偏振光和光矢量与入射面垂直
第一部分椭圆偏振光谱中的主角测量条件和方法研究
的偏振光,前者称为P光或TM波,后者称为S光或TE波。
对于由两种各向同性的均匀媒质形成的界面,反射光的S分量只与入射光
的S分量有关,P分量只与入射光的P分量有关,也就是说,在反射和折射过
程中,S、P两个分量的振动是相互独立的。但是两个分量的振幅和相位都发生
了变化,而且分别有各自不同的反射系数f和透射系数i,它们分别被定义为
光波的反射和透射电场之比‘ 。
iil COS0.一五,COS0々
——二——————一二——!—————=
矗1 COS0.+矗,COS0,
亘-竺![要!!!!!
百l cosO 2+五2 COS0
石1 COSOI+丽2 COS0 2
7—2可2忑五lcosOi】蒜
Ip
这就是著名的菲涅耳公式,式(1.1 O)和(1.11)分别为反射和透射公式,其中
下标S和P分别表示垂直和平行两种分量.
菲涅耳公式表明,当入射光波在界面发生反射或折射时,其反射波和透射波
的偏振态会发生改变.椭圆偏振态的测量将基于这些原理.
当入射角为某一特定的角度,折射光与反射光互相垂直时,反射光为电矢量
垂直于入射面的完全线偏振光,这时的入射角即为布儒斯特角,也称起偏振角.设
布儒斯特角为0。由布儒斯特角的定义,以及反射、折射定律和图1,我们不难得
到O。由下式决定㈨:
tanOB=n 2/n
2.2椭偏参数定义和测量原理
定义:
锕一部分椭网偏振光谱中的主舶测量条件和方法Ⅵ究
p:==re
‘
r;和r。分别为s光和p光反射波的电场矢量R。和八射波电场矢量宦。的振幅
之比,6为反射和入射电场矢量的相位差
我们可以将p改写为:
D=tan。tSe“
(1.1 3)
式中tlS弄c,AFp为通常所说的椭偏参数,它们是实验上可以测量的基本物理参
数
从单色仪出来的光束,经过三个偏振器,第一个偏振器P,、的光轴固定,其幅
值与入射面垂直,以;肖除光源中的部分偏振性,使其成为线偏振光束;第二个偏振
器为起偏器P,第三个偏振器为检偏器A,它们的初始位置也与入射面垂直,测量
时起偏器和检偏器以1:2的角速度由步进马达控制旋转.如果定义起偏器和检偏
器的方位角分别为P、A,则测量时任一时刻有:
A=2P=0)ot
光束经过三个偏振器以及与样品s发生相互作用,电场强度变化可以表示
为:
_-【】。慌爻:黧蝣∽II co肿s P啷sin P咀][00JI 01LsiVco。s?P-sisPJn P]LoJII]E。
(1.1 4)
由于S和P分量具有不同的反射系数,从而使反射光束的偏振态发生变化,
其偏振态的改变由检偏器A检测,并由光电倍增管探测输出光强.从式(1.1 4)中
可以得到输出光强中将自含5个信号分量,即一个直流分量和两个整数倍基频的
交流分量:
、
一
笙二堂坌塑婴堡堡堂堂!!竺圭垫型墨釜堡塑塑鲨型塑
其中I。为直流分量,I,、1:、1,和I。为交流分量
I。=11i1(7+3“+2po cosA)
Il=n(3+pn COS△)
1二=rl(2酊)
1;=n(1一p。COS△)
I·=q:(1+p。!一2p。c。s△)
(1.1 6)
式中11是一个与光强有关的常数。由上式可得
2(il+1 3—21 7)
¨
烈 十 ;一2I,)
COS△ (1.1 7)
+1j 2i!)r
或 者
U + j J
%I_ }
3(Il+I 3)一4(I
2+41
4)
COS△
(1.1 8)
[8(I。+I,)(I,+I:一2I:)P
由式(1.1 7)和(1.1 8)可以看出,无须测量直流
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