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反光镜测试中曲面数据采集和拟合 摘要：为了求得未知椭球曲面的曲线方程，模拟曲 面的几何结构，以数字投影系统中椭球反光镜为例，介绍了 大口径非球面反光镜数据采集及拟合方法。利用三坐标测量 机(CMM)对椭球反光镜面型进行精密测量，根据测试数据, 采用数学拟合方法获得椭球反光镜的曲线方程。并对测试模 型与拟合曲面进行了光线追迹和误差分析，拟合曲面与测试 曲面符合较好。因此，采用三坐标测量机进行曲面数据采集 及数学方法拟合，能够得到较理想的拟合曲面方程。 关键词：非球面反光镜；三坐标测量机；曲面数据 采集；曲面拟合 中图分类号：0 439文献标识码：Adoi : 10.3969/j. issn. 2012. 03. 001 引言 非球面光学反光镜按照面型分类包括椭圆、抛物面、双 曲面等类型，广泛应用于数字投影系统［1］、冷光源［2］、电 影光源［3, 4］、照明光源［5］等，其几何外形结构如图1所 示。其中应用于数字投影系统中的椭球反光镜，如图2所示, 是一种较为精密的反光镜元件。实际加工过程中，需要对未 知椭球曲面方程进行重构求解，以便进行数据误差分析及再 加工。曲面重构的主要方法是通过采集曲面的坐标数据信息 及数据拟合，得到非球面曲面方程。曲面的数据采集及拟合 一方面有助于光学系统辅助设计，另一方面作为制造过程的 误差分析，模拟模型的光学特性变化，可以提升产品制