扩散硅压力变送器温度补偿研究.pdfVIP

北京石油化工学院学报 第 16 卷 　第 2 期 Vol . 16 　No . 2 J our nal of Beij in g In stit ut e of 2008 年 6 月 J un . 2008 Pet rochemical Technolo gy 扩散硅压力变送器温度补偿研究 摘 要 　扩散硅压力变送器测量精度高 、动态响应快 。当把它应用于温度变化范围较大的 环境时 ,虽然变送器内部进行了硬件温度补偿 ,它的零点迁移还会随温度变化较大 。通过实验测得一组 扩散硅压力变送器随温度变化的零点迁移数据 ,然后采用分段线性插值法得到一个随温度变化的零点 迁移补偿函数 。在实际应用中利用零点迁移函数对各个温度点进行软件零点迁移补偿 ,从而可以大大 提高信号检测精度 。 关 键 词 　扩散硅压力变送器 ; 零点迁移 ; 温度补偿 ; 测量精度 中图法分类号 　T H7 　　扩散硅压力变送器是以压阻式传感器为检 ( 的零点在出厂时进行了标定 例如环境温度为 测元件的一种压力检测仪表 ,扩散硅压力变送 20 ℃、0 mm 液位时 ,变送器输出 4 mA 的电流 器的最大特点是动态响应快 、测量精度高 ,这也 ) 信号 ,在应用时 ,变送器零点经常会出现零点 是许多其他方式的传感器无法比拟的 ,但它毕 迁移 ,所以为了减少检测误差 ,一般都进行固定 竟是半导体材料 ,它要求传感器的工作环境温 值零点迁移补偿 ,即 度相对稳定 ,不应波动范围太大 。硅材料对温 实际液位 = 检测液位 - 零点迁移值 度的变化相对较敏感 ,当温度变化太大时 ,就会 若对系统要求精度不是特别高 ,并且液位变送 对扩散硅压力变送器的精度有影响[ 1 ] 。 器工作环境温度变化不大 ,这种固定值零点迁 移补偿的方法是能满足要求的。但有些液位变 1 　零点迁移补偿 送器工作环境温度变化较大 ,精度要求又较高 , 由于半导体材料对大范围温度变化的敏感 这时采用固定值零点迁移补偿方法就会出现一 性 ,所以扩散硅压力变送器在制作时 ,采用四个 定的误差 。因为扩散硅型液位变送器的零点迁 阻值相等的扩散电阻 ,并连接成惠斯顿电桥形 移量随温度的变化不是固定值 ,而是按一定规 式 ,实现硬件的温度补偿 。在温度相对较稳定 律变化 ,为了提高检测精度 ,可以采用零点迁移 的环境中应用此类变送器 ,它的精度还是很高 随温度变化补偿法 。零点迁移随温度变化补偿 的。但是如果环境温度变化较大 ,尽管扩散硅 法关键是通过实验得出一组随温度变化的零点 压力变送器本身已进行了硬件温度补偿 ,但在 迁移数据[23 ] 。 实际使用时 ,随着环境温度的较大变化 ,它的检 测精度还是受到了影响 。所以在采用这类变送 2 　随温度变化零点迁移量的测量 器时 ,为了进一步提高测量精度 ,可以采用零点 (