TCO(透明导电层)的原理及其应用发展.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * Display Application OLED Display Application PDP Touch Panel Solar cell Electrochromic Window (电致变色玻璃) 常用TCO之应用 ITO及TCO薄膜未来需求之课题 高透光率ITO玻璃 极低面电阻高穿透率之研究 超平坦透明导电膜 在塑料基板成膜(室温成膜) 靶材回收 参考文献 工业材料杂志256期 ，廖镕榆/工研院材化所 材料最前线/材料世界网 ，吴金宝/工研院材化所 工业材料杂志第255期 ，刘秀琴、张志祥/工研院材化所 .tw/Research/Product/Vacuum/transparent.php 仪科中心简讯85期 ，真空技术组　潘汉昌。 氧化锌-铝多层膜之结构与光电特性研究，林正伟。 3/c49-1149554558 以溅射共沉积法成长Cu2O：Al之P型透明导电膜研究，邱俞翔、施佑杰、戴渊竣、包正纲。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 透明导电薄膜(TCO) 之原理及其应用发展 TYN　　2012/12/12 1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2.TCO的导电原理 3.TCO的光学性质 4. TCO薄膜之市场应用及发展 Outline 1.ITO及各种透明导电氧化物材料的介绍 透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2.TCO的导电原理 3.TCO的光学性质 4. TCO薄膜之市场应用及未来发展 什么是透明导电薄膜? 在可见光波长范围内具有可接受之透光度 ??以flat panel display而言?透光度愈高愈好 ??以solar cell而言?太阳光全波长范围之透光度及热稳定性 具有导电特性 ??电阻比(resistivity)愈小愈好，通常ρ 10-4 Ω? cm ?? 一般而言，导电性提高，透光度便下降，反之亦然。可见光范围具有80 %以上的透光率，其比电阻低于1×10-4 Ω?cm，即是良好透明导电膜。 纯金属薄膜 ?? Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh，在 10nm厚度的薄膜， 均有某种程度的可见光透光度 早期使用之透明电极 缺点：光的吸收度大、硬度低、稳定性差 透明导电薄膜 透明导电薄膜 金属化合物薄膜(TCO) 泛指具有透明导电性之氧化物、氮化物、氟化物 a.氧(氮)化物：In2O3、SnO2、ZnO、CdO、TiN b.掺杂氧化物：In2O3:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO)、ZnO:Ga (GZO) ZnO:Al (AZO)、SnO2:F、TiO2:Ta c.混合氧化物：In2O3-ZnO、CdIn2O4、Cd2SnO4、Zn2SnO4 History of TCO ??1907年最早使用CdO材料为透明导电镀膜，应用在photovoltaiccells. 1940年代，以Spray Pyrolysis及CVD方式沉积SnOx于玻璃基板上. ?? 1970年代，以Evaporation及Sputtering方式沉积InOx及ITO. ??1980年代，磁控溅镀﹙magnetron sputtering﹚开发，使低温沉膜制程，不 　 　　　　论在玻璃及塑料基板均能达到低面阻值、高透性ITO薄膜. ??1990年代，具有导电性之TCO陶瓷靶材开发，使用DC磁控溅镀ITO，使 　　　　　沉积制程之控制更趋容易，各式TCO材料开始广泛被应用. ??2000年代，主要的透明导电性应用以ITO材料为主，磁控溅镀ITO成为市 　　　　　场上制程的主流. 透明导电薄膜主角-- ITO 　中文名称：铟锡氧化物 　英文全名：Indium Tin Oxide（ITO） 　成分：掺杂锡之铟氧化物(Tin-doped Indium Oxide) 　年代：1934年被美国铟矿公司最早合成出来 　世界最大ITO薄膜制造国：日本 　选用率：在TCO材料中，75%应用在平面显示器 　主要应用：平面显示器、透明加热组件、抗静电膜、电 　　　　　　磁、防护膜、太阳能电池之透明电极、防反 　　　　　　光涂布及热反射镜(heat reflecting mirror)等 　　　　　　电子、光学