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实验技术
薄膜层状外延生长的光学原位实时监测方法
陈 凡 赵 彤 吕惠宾 陈正豪 杨国桢
( 中国科学院物理研究所 北京 100080)
摘 要 综述了几种用于监控薄膜外延生长的光学原位实时监测方法的进展. 其中光反射差法/ 光反
( ) ( ) ( ) ( )
射各向异性谱 RDS/ RAS 和p 偏振反射谱 PRS 、表面光吸收 SPA 、椭偏仪 SE 等 ,在外延过程中已
观测到了薄膜层状外延周期振荡.
关键词 薄膜 ,层状外延生长 ,光学原位实时监测
IN SITU REAL TIME OPTICAL MONITORING OF THIN FILM
LAYER BY LAYER EPITAXIAL GROWTH
Chen Fan Zhao Tong L üHuibin Chen Zhenghao Yang Guozhen
( )
Instit ute of Physics , The Chinese Academy of Sciences , Beijin g 100080
Abstract Variation methods of in - situ real time optical monitoring of thin film layer - by - lay
er epitaxial growth are presented. Oscillations have been observed by reflectance difference spec
troscopy/ reflectance anisotropy spectroscopy p - polarized reflectance spectroscopy , surface photon
absorption and ellipsometry during the epitaxial growth.
Key words thin film ,layer - by - layer epitaxial growth ,in - situ real time optical monitoring
随着薄膜科学和制膜技术的发展 ,人们希 RHEED 的使用. 目前, RHEED 主要用在分子
( )
望能获得薄膜生长过程的实时信息 ,例如新层 束外延 MBE 等超高真空设备上.
(
怎样开始 ,然后长到半层 ,再到一层完全覆盖 , 近年来 ,光学原位实时监测方法 以下简称
)
下一层继续 ,这样就可以实时控制成膜条件以 “光学方法”有了很大的发展 ,表面灵敏度不断
制备更理想的薄膜 ,进一步还可以研究成膜机 提高 ,好几种方法达到了表面 001 单层的灵敏
理. 制备原子级光滑表面、精确厚度的薄膜及超 度. 光
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