多线切割机的切割运动分析.docVIP

：圭昱签剑造王茎皇塑鱼： 多线切割机的切割运动分析 种宝春，靳永吉，罗嘉辉 （中国电子科技集团公司第四十五研究所，河北三河燕郊０６５２０１） 摘要：半导体晶圆不断向大直径方向发展。内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求，随着多线锯切割技术的完善，多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析．同时对钢线张力、切削进给运动进行了理论分析。关键词：多线切割；研磨去除；变速进给 中图分类号：ＴＮ３０５．１文献标识码：Ａ文章编号：１００４—４５０７（２０１０）０２—００３ｌ一０４ ＴｈｅＳｌｉｃｉｎｇＭｏｖｅｍｅｎｔＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＭｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗ ＣＨＯＮＧｂａｏｃｈｕｎ，ＪＩＮＧｙｏｎ舒ｉ，ＬＵＯｊｉａｈｕｉ （Ｔｈｅ４５ｎｄＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，ＣＥＣＴ，Ｈｅｂｅｉｙａｎｊｉａｏ０６５２０１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｃｒｙｓｔａｌｗａｆｅｒｓｄｅｖｅｌｏｐｔｏｗａｒｄｓｂｉｇｇｅｒｄｉａｍｅｔｅｒ．Ｔｈｅｉｎｎｅｒ—ｄｉａｍｅｔｅｒｓｌｉｃｉｎｇｏｆｓｉｎｇｌｅｗａｆｅｒＣａｌｌ’ｔｓａｔｉｓｆｙｔｈｅｉｎｃｉｓｅｄｅｍａｎｄｏｆｔｈｅｗａｆｅｒｓｗｉｔｈｂｉｇｇｅｒｄｉａｍｅｔｅｒ．ＳＯｔｈｅｍｕｌｔｉ??ｗｉｒｅｓａｗｈａｓｂｅｃｏｍｅｔｈｅｍａｉｎｅｑｕｉｐｍｅｎｔｉｎｔｈｅｆｉｅｌｄｏｆｔｈｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓｌｉｃｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏ??ｇＹ．Ｔｈｅｍｏｖｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｓａｎｄｇｒａｉｎｉｎｔｈｅｓｌｉｃｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｉｓａｎａｌｙｚｅｄｉｎｔｈｉｓａｒｔｉｃｌｅ．Ｔｈｅｔｅｎｓｉｏｎ ａｒｅｆｏｒｃｅｏｆｔｈｅｗｉｒｅａｎｄｔｈｅｆｅｅｄｉｎｇｍｏｖｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｓｌｉｃｉｎｇ ａｒｔｉｃｌｅ．ａｌｓｏａｎａｌｙｚｅｄｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｌｙｉｎｔｈｅ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｍｕｌｔｉ－－ｗｉｒｅｓａｗ；Ａｂｒａｓｉｖｅｒｅｍｏｖａｌ；Ｖａｒｉａｂｌｅ??ｓｐｅｅｄｆｅｅｄｉｎｇ 半导体材料采用的多线切割方式，已经取代了 以内圆镀制金刚砂的内圆刀片的单片切割技术，内 圆刀片的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆 的切割。多线切割方式具有切割效率高和切割效果 好的特点，但是如果出现断线将造成严重的损失， 所以对于切割设备本身具有更高的要求，切割张力 采用了张力控制，切割进给运动采用了变速切割进给方式。１多线切割机理多线切割方式，是由钢丝线作为载体带动高硬度的研磨砂粒对材料进行研磨去除，实现对材料的切片。砂粒在切割过程中进行移动和滚动运动。移万方数据 ?半导体制造工艺与设备? 动过程中，砂粒一棱角切入被切割材料中，使其产生蠼性变形，同时在钢幺幺线的带动下横向移动，破坏材料原子问的键合力形成碎屑，当阻力大于横向力时，产生滚动运动，而另外的棱角重新参与研磨切除，同时排Ｈ｛切屑。 在切割过程中，钢丝线作为实现对材料切割磨料的载体，在高速运动，保证磨料达到切削去除的基本能量，磨料在研磨去除中受到钢丝线压力，此压力来源于不断的进给运动，由于钢丝线的高速运动，磨料在钢丝线和材料之间运动，实现对材料的切除，在此运动过程中钢丝线和被去除材料相互都具有磨损，然而钢丝线由于／１ｉ断的更新，磨损过的钢丝线不再使用，对于被切割材料破损不断的进行，从而实现对材料的切割。 磨料在切割运动中分为４个状态，如图１所示。 盛．一盛．．————●—－ ————■●Ｐ （ａ）为滑ｊＪ：状态 （ｂ）为切入状态 臣薹爵?一层丕胬盛．一是 －－Ｅｒａ－－————■■＿ （ｃ）犁铧状态（ｄ）为滚动状态 图１ 切割运动状态 实现对材料的去除主要为切入状态和犁铧状态，磨料在钢丝线的带动下在材料表面摩擦滑行，在压力的作用下磨料的棱角切入材料使其产生塑性变形后对材料进行犁铧，破坏材料间的分子键合力，产生碎屑。当切削阻力很大时，磨料停止划切运动，在钢丝线的摩擦力下产生滚动，并排出切屑，同时又进入下一次的切削运动。 ２ 切削过程中钢丝线的张力 ２．１钢丝线上的张力 在切割过程中钢丝线保持着恒定的拉力，如图２所示，钢丝线上的张力为。 万方数据 Ｖ‘。。’。?’ 图２ 钢丝线受力示意图 式中：ＴＩ＝Ｆ?Ｉｚ＋１＂２（１） 乃为收线张力乃为放线张力肛为材料摩擦系数 钢丝线上的张力由电机来提供，下压力Ｆ是由切削进给量来保证，为了保证切削效果的一致性，钢丝线上的张力为恒定值，张力ｒ和下压力Ｆ是保证材料／卜断被去除的基础，在下压力Ｆ力的作用下磨料棱角边作用于被切除材料上产生极大的压强，从而可以切入材料中，使其产牛塑性变形，并且断裂。 ２．２切割过程中张力的调整 在切割过程中，切割钢丝线在高速旋转轴辊的带动下进行高速的直线运动，钢线必须保持恒张力控制，达