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非晶硅太阳能电池; 尽管单晶硅和多晶硅太阳能电池经过多年的努力已取得很大进展，特别是转换效率已超过20%，这些高效率太阳能电池在空间技术中发挥了巨大的作用。但在地面应用方面，由于价格问题的影响，长久以来一直受到限制。太阳能电力如果要与传统电力进行竞争，其价格必须要不断地降低，而这对单晶硅太阳能电池而言是很难的，只有薄膜电池，特别是下面要介绍的非晶硅太阳能电池最有希望。因而它在整个半导体太阳能电池领域中的地位正在不断上升。从其诞生到现在，全世界以电力换算计太阳能电池的总生产量的约有1/3是非晶硅系太阳能电池，在民用方面其几乎占据了全部份额; 与晶态半导体材料相比，非晶态半导体材料的原子在空间排列上失去了长程有序性，但其组成原子也不是完全杂乱无章地分布的。由于受到化学键，特别是共价键的束缚，在几个原子的微小范围内，可以看到与晶体非常相似的结构特征。所以，一般将非晶态材料的结构描述为：“长程无序，短程有序”。; 用来描述非晶硅的结构模型很多，左面给出了其中的一种，即连续无规网络模型的示意图。可以看出，在任一原子周围，仍有四个原子与其键合，只是键角和键长发生了变化，因此在较大范围内，非晶硅就不存在原子的周期性排列。;在非晶硅材料中，还包含有大量的悬挂键、空位等缺陷，因而其有很高的缺陷态密度，它们提供了电子和空穴复合的场所，所以，一般说，非晶硅是不适于做电子器件的。;1975 年， 研究人员通过辉 光放电技术分解 硅烷，得到的非 晶硅薄膜中含有 一定量的氢，使 得许多悬挂键被 氢化，大大降低 了材料的缺陷态 密度，并且成功 地实现了对非晶 硅材料的p型和n 型掺杂。;电导激活能的变化说明了材料的费米能级随着掺杂浓度的变化而被调制，表明确实可以对非晶硅进行掺杂以控制它的导电类型和导电能力。;非晶硅太阳电池的起源;2 非晶硅太阳能电池的特点;非晶硅的禁带宽度比单晶硅大，随制备条件的不同约在1.5-2.0eV的范围内变化，这样制成的非晶硅太阳能电池的开路电压高。;制备非晶硅太阳能电池能耗少，约100千瓦小时，能耗的回收年数比单晶硅电池短得;非晶硅太阳能电池的发展历史;1980年：ECD公司作成了转换效率达6.3%的非晶硅太阳能电池，采用的是金属-绝缘体-半导体（MIS）结构；同年，日本三洋公司向市场推出了装有面积为5平方厘米非晶硅太阳能电池的袖珍计算器。 1981年：开始了非晶硅及其合金组成的叠层太阳能电池的研究。 1982年：市场上开始出现装有非晶硅太阳能电池的手表，充电器、收音机等商品。 1984年：开始有作为独立电源用的非晶硅太阳能电池组合板。;3、非晶硅薄膜的制备;典型的辉光放电淀积非晶硅的装置包含反应腔系统，真空抽气系统和反应气体流量控制系统。; 反应腔内抽上真空，充入氢气或氩气稀释的硅烷气体，直流或高频电源用电容或电感耦合的方式加在反应腔内的电极上，腔内气体在电源作用下电离分解，形成辉光的等离子体。非晶硅薄膜就淀积在加热的衬底上，一般衬底温度在250-500度之间。若在反应气体中加入适当比例的PH3或B2H6气体，便可以得到n型或p型的掺杂非晶硅薄膜。; 为了避免这种情况，研究者发展了一种多反应腔装置，非晶硅太阳能电池的p、I、n各层分别在专用的反应腔内沉积，因此没有残存杂质的污染，能很好地重复制造出高效率非晶硅太阳能电池。并且，这种装置适宜批量生产，因而目前生产的非晶硅电池基本上采用这种装置。非晶硅薄膜的光电性质强烈依赖于制备的工艺参数，如气压、衬底温度、气体流量，电源功率等条件，只有严格控制好工艺条件，才能得到质量良好的非晶硅膜。;热丝沉积装置保证了薄膜非晶硅产品效率和稳定性的提高。 ;4、非晶硅太阳能电池的结构; 非晶硅太阳能电池的结构最常采用的是p-i-n结构，而不是单晶硅太阳能电池的p-n结构。这是因为：轻掺杂的非晶硅的费米能级移动较小，如果用两边都是轻掺杂的或一边是轻掺杂的另一边用重掺杂的材料，则能带弯曲较小，电池的开路电压受到限制；如果直接用重掺杂的p+和n+材料形成p+-n+结，那么，由于重掺杂非晶硅材料中缺陷态密度较高，少子寿命低，电池的性能会很差。因此，通常在两个重掺杂层当中淀积一层未掺杂的非晶硅层作为有源集区。;典型的非晶采用p-i-n硅电池设计, 在p层和n层中夹了一种内在层。; 非晶硅太阳能电池内光生载流子主要产生于未掺杂的i层，与晶态硅太阳能电池中载流子主要由于扩散而移动不同，在非晶硅太阳能电池中，光生载流子主要依靠太阳能电池内电场作用做漂移运动。; 由于未掺杂的非晶硅实际上是弱n型材料，因此，在淀积有源集电区时适当加入痕量硼，使其成为费米能级居中的i型，有助于提高太阳能电池的性能