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国家重大技术装备 电子专用设备 1983年以后 在市场经济的推动下 我国电子专用设备 ， ， 产业规模迅速扩大 到1990年 依托中国集成电路建设项目 ， ， 工程 908工程 半导体设备中7.6cm 3英寸 5 m 的 （ ）， （ ）、 μ 主要工艺设备已基本配套 依托彩色电视国产化工程项目为 ， 彩色电视配套的38种元件生产线设备基本实现国产化 并建 ， 立了17种元件的国产化示范生产线 有力地推动了我国电子 ， 工业的发展。 新世纪以来 在国家高科技发展计划和极大规模集成电 ， 路制造装备及成套工艺项目的支持下 集成电路制造关键设 ， 备 IGBT功率半导体制造关键设备 LED制造关键设备 平 、 、 、 板显示器制造关键设备 太阳能电池片制造关键设备的研发 、 和产业化得到了快速的发展。 246 国家重大技术装备30年纪念册 图1 七星电子研制的彩色显像管排气机 一、为彩电配套的主要元器件生产 线设备 原国营北京建中机器厂 现北京七星华创电子股份 （ 有限公司 以下简称七星电子 西北机器厂 简称709 ， ）、 （ 厂 南光机器厂 简称708厂 等企业研制的86.4cm 34 ）、 （ ） （ 英寸 以下的彩色显像管 彩色显像管玻壳生产线大部分 ） 、 设备可立足于国内 对我国彩色显像管 彩色显像管玻壳 ， 、 产量跃居世界前列起到重要作用 图1是七星电子研制的彩 。 色显像管排气机。 中国电子科技集团第45 第48研究所 以下简称45 、 （ 所 48所 上海希瑞电子设备有限公司 以下简称上海 、 ）， （ 希瑞 南京中磁系统工程公司 简称南京中磁 研制的 ）， （ ） 为彩色电视配套的二 三极管和铝 钽电解电容器等主要 、 、 元器件生产线设备实现了国产化 有力地推动了我国彩色 ， 电视工业的快速发展 图2 是上海希瑞研制的金属化薄膜 。 图2 上海希瑞研制的金属化薄膜 电容器全自动测试分选机。