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核心观点 6
本土半导体设备行业正处在黄金发展时期 7
从长江存储招标看:半导体设备国产化加速,大陆产线开始进入设备采购高峰期 10
包括长存在内的存储器/晶圆厂将进入设备采购高峰期 10
多种核心设备实现突破,国产化率呈现上升态势 11
北方华创全面开花,中微公司等在细分领域优势明显 13
光刻机:ASML 一家独大,国产设备短期难以突破 13
刻蚀设备:中微具备全球竞争力,北方华创实现突破 14
薄膜设备:北方华创、沈阳拓荆实现中标,ALD 尚未中标 15
清洗设备:盛美半导体竞争力突出,北方华创实现中标 16
氧化/退火设备:北方华创优势明显,Mattson RTP 设备具备全球竞争力 17
化学机械抛光设备:AMAT 近乎垄断,华海清科开始供货 18
过程控制装备:国产设备中标占比较低,中科飞测、睿励科学有所斩获 18
测试设备:国产设备处在加速布局阶段,尚无供货长存项目 19
大基金二期注册完成,半导体设备有望获得重点加码 19
大基金一期投资完毕,设备投资占比偏低 19
大基金二期注册成立,新一轮设备和材料投资值得期待 20
北方华创:开启新征程的本土半导体设备龙头 22
传承半导体设备基因,产品储备较为丰富 22
企业品牌形象不断提升,产品已经进入国内优质客户 23
在实现自主可控社会价值同时,公司经营质量持续提升 24
20 亿定增获批叠加股权激励方案落地,公司开启发展新阶段 27
20 亿定增加码高端集成电路设备,将进一步夯实公司竞争力 27
股权激励力度加大,将充分释放公司活力 27
风险提示 28
图表目录
图表 1: 半导体设备国产化进程中涌现一大批本土企业 7
图表 2: 2018 年中国半导体设备国产化率不足 12% 8
图表 3: 美国制裁中兴、华为再次敲响国家安全警钟 8
图表 4: 2018 年中国集成电路产业销售额 6532 亿元 8
图表 5: 2018 年中国集成电路市场规模占全球的比重高达 33.8% 8
图表 6: 不完全统计,大陆在建/拟建的 12 寸产线多达 25 条 9
图表 7: 设备投资占集成电路投资的 70% 10
图表 8: 各类半导体设备投资额占比 10
图表 9: 长江存储正处在产能爬坡重要阶段 10
图表 10: 长江存储 30 批设备招标开启的时间分布 11
图表 11: 国产设备在刻蚀、PVD 等领域实现较大突破 12
图表 12: 2019 年以来国产设备中标数量有所提升 12
图表 13: 2019 年以来国产设备整体中标比例有所提升 12
图表 14: 中微公司刻蚀机 19 年中标占比略有提升 13
图表 15: 北方华创刻蚀机 19 年中标占比提升明显 13
图表 16: 北方华创氧化/退火设备 19 年中标占比提升明显 13
图表 17: 长江存储合计开标了 19 台光刻机招标 14
图表 18: ASML 光刻机中标占比达到 68% 14
图表 19: 中微半导体、北方华创刻蚀设备中标 35 台 14
图表 20: 中微刻蚀设备具备全球竞争力 15
图表 21: 沈阳拓荆和北方华创分别中标 4 台CVD、3 台 PVD 15
图表 22: 沈阳拓荆 CVD 中标占比 1.8% 16
图表 23: 北方华创 PVD 中标占比达到 21.4% 16
图表 24: ALD 尚无国内设备厂商中标 16
图表 25: 国产清洗机合计中标 17 台 17
图表 26: 盛美半导体清洗机中标占比 17.9% 17
图表 27: 北方华创、MATTSON 氧化/退火设备合计中标 33 台 17
图表 28: 北方华创氧化设备中标占比高达 65.2% 18
图表 29: 北方华创退火设备中标占比达到 30.9% 18
图表 30: 华海清科中标 5 台化学机械抛光机 18
图表 31: AMAT 化学机械抛光机中标占比达到 85.3% 18
图表 32: 中科飞测和睿励科学合计中标 5 台过程控制设备 19
图表 33: 过程控制设备领域外资企业占据主要市场份额 19
图表 34: SEMICS 和东京精密探针台中标占比达到 93.6% 19
图表 35: 泰瑞达和爱德万测试中标占比达到 87.2% 19
图表 36: 大基金一期各环节投资金额占比分布 20
图表 37: 设备和材料实际投资占比不到 3% 20
图表 38: 大基金一期在半导体设备领域投资去向 20
图表 39: 大基金二期在数量和募集金额方面均有较大的提升 21
图表 40: 北方华创传承半导体设备科技基因 22
图表 41: 北方华创产品储备丰富 23
图表 42: 过去三年北方华创斩获 10 余项奖项
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