SEM基本原理与实际操作.pptVIP

7．日常关机 点击 S-4800 主窗口的关闭键，在弹出来的确认窗口点击“OK”关闭软件。在整个软件关闭后关闭 Windows,最后关闭 Display 电源开关。整个 SEM 的操作结束。 姓名： 学号： 日期：2013-11-26 S-4800FESEM的原理及操作 一、设备简介 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。S-4800型高分辨率场发射扫描电镜为日本日立公司与2002年推出的产品。该电镜的电子发射源为冷场，物镜为半浸没式。在高加速电压（15KV)下，S-4800的二次电子图像分辨率为1nm，这是当时半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低减速电压（1KV)下的二次电子图像分辨率为2nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪，利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌时同步进行微区元素成分定性和定量分析。该X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92。由于S-4800的工作条件为超低真空（2×10-8bar），因此不适合直接观察含水和含油样品。 1.特点 2.主要部件 S-4800主机（包括真空系统、电子光学系统、成像系统），X射线能谱仪，E-1030喷金喷碳装置等。 3.主要性能指标 二次电子分辨率：1.0nm（15KV）,2.0nm（1KV）； 背散射电子分辨率：3.0nm（15KV）； 电子枪：冷场发射电子源； 加速电压：0.5~30KV(0.1KV/步）； 放大倍率：30~8×105 EDS元素分析范围：Be4~U92 E-1030喷金喷碳装置可以通特定气体，保护样品。 二、S-4800FESEM的原理 SEM的工作原理： 用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。 SEM结构示意图： a.真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。 用真空主要原因： 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以在使用SEM时需要用真空，或以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。 SEM三大系统： b.电子束系统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。 c.成像系统 成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端用于放置样品。 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子等。 电子与固体试样的交互作用 SEM中的三种主要信号 二次电子SE 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。携 带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的 区域，能量为0-50 eV。 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散 射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100 ?。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨 率。二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要取 决于表面形貌。 背散射电子BSE 背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一 部分入射电子。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占 的份额多。背散射电子能量在数千到数万电子伏。 背散射电子的产生范围在1000 ?到1 μm深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。 三、S-4800FESEM的操作 1.开机 开启冷却循环水电源(自动) →按下DISPLAY台板下方右上角处开关 至 ,PC 自动开机进入Windows XP用户登录界面，以空口令登录 →电镜PC_SEM程序自动运行，以空口令登录。 PC_SEM程序界面 FE-SEM 在作样之前，必须要进行轰击（作为电子源的 FE 尖端的清洁）。在开始使用 时，轰击频率为一次。但是，电压外加时间累计超过 8 小时，发射电流开始不稳定，需要再 次轰击。 轰击后可以立即观察图象。但是在最初的 1 小时左右，有时会有图象干扰（图象中出 现明暗的横线）。进行高分辨率的观察时，最好在轰击完 1 小时以上之后进行观察。 2．轰击（flashing） （1） 点击控制面板上的加速电压显示区域，出