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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 理想值偏差表 例：某 CD-ROM 盘 Jitter 测试数据 (续) 3T 4T 5T 6T pit 32 31 32 31 Land 36 ? 29 28 26 7T 8T 9T 10T 11T 29 28 28 28 29 25 24 24 24 22 C. Jitter 参数控制策略 —— 母盘制造是关键 —— 1. 在光刻胶烘干过程中玻璃表面的温度控制 2. 激光光束轮廓分布与 pit 几何形状关系 3. 由蓝激光 (λ= 457.9 nm) 和 g-line 光刻 胶产生的 pit 轮廓 4. 由紫外光 (λ= 363.8 nm) 和 i-line 光刻胶产生的 pit 轮廓 5. 读出光斑未聚焦 得足够小而产生 窜信 (Cross Talk) 6. 记录光束 的分布和 控制对pit 的影响 7. 显影中的蚀刻过程 （与显影温度、纯水温度和显影时间有关） 8. 聚焦物镜 倾斜引起 pit 形状 的变化 D. DVD的 Jitter 抖晃参数的再讨论 评价 DVD 驱动器 (或播放机) 时使用标准 DVD 测试盘 评价 DVD 光盘时使用标准 DVD 驱动器 评价 DVD 光盘的 Jitter 有以下几种： 1. Jcl (Data to Clock) 数据 时钟评价 2. (Data to Data) 数据 数据评价，即各个记录长度 的 Jitter 评价 3. 偏置误差评价 (各 T 的测试平均值与理 论标准值的差) ? Data to Data 表示了分别测量 nT(n=1~11, 14) 的Land或pit的信道长度； ? 用 JITL 表示 nT 的 Land 的抖晃 用 JITP 表示 nT 的 Pit 的抖晃 ? 偏置误差评价 用 DEVL 表示 nT的 Land 的偏差 用 DEVP 表示 nT的 Pit 的偏差 ? JITL、JITP 和 DEVL、DEVP 表示了在 测试不同 nT 长度下坑 (Pit) 或岸 (Land) 一致性的好坏程度； ? Jitter测试中有时还考虑； Bottom 的 Jitter 和 Tilt 的 Jitter 等 思考题 1. 光盘衬底 (盘基)、反射层、保护层最常用的材料， 分别写出2种、4种和1种名称 (中、英文对照)；它 们都用什么工艺完成 ？ 2. 光盘母盘 (Master Disc) 从玻璃母板的清洗一直到 成品的镍模 (Stamper) 要经过哪几道工序 ？ 3. 讨论 BLER、I3、I11、REF、Jitter 这 5 个参数的 含义 (定义及其物理意义)。 本课讲义幻灯片下载地址 （清华网络学堂） 课程名称：光盘存储及应用技术（2002秋） 或： 2 《光盘存储及应用技术》 谢谢大家！ Tel: 010Fax: 010E-mail: omnerc@ * * * * * * * * * * * * * * Optical Memory application (Optical Storage application) 光盘存储及应用技术（OMA） 潘龙法、陆达 Tel FaxE-mail: omnerc@ http//: 光盘国家工程研究中心 (omnerc) Optical Memory National Engineering Research Center 第八讲 光盘测试 ? 光盘测试分 在线 (on line) 离线 (off line) 检测两种 ? 本讲主要讨论离线检测的参数及其要求 CD-R盘片复制 Stamper molding … （同CD） 冷却 洗边 槽尺寸 检测 缺陷 检测