小型壁稳氢弧紫外一真空紫外光源的研究.pdfVIP

第 4 卷第11 期 Vol. 4, No. 11 光学学报 ACTA OPTICA SINICA Novemb扭， 198岳 1984 年 11 月 小型壁稳氢弧紫外一真空紫外光源的研究 李福田 孙国华 刘元群 陈星旦 〈中国科学院长春光学精密机械研究所〉 提要 巴研制成配有四级差分泵单元的2.5kW 小型壁稳氧弧光源。 其光谱辐射稳定性和重复性优于 土0.5%， 一致惶优于士1%。其连续光谱分布可用 Hofsaess 理论计算，准确度达10%。等离子体光谱学 5 17 3 i主断表明:氢那电流 40A、气压1. 75 x 10 Pa 时，等离子体温度为 12， 650 豆，电子密度为1.29 X 10 cm- • 一、引 壁稳氢弧是一种具有高稳定性和高重复性的真空紫外光源，被广泛用于确定跃迁几率、 连续光谱系数、斯塔克加宽参量等光谱学工作及等离子体热学、电学性质的研究中。近年来 利用黑体谱线方法∞及同步辐射方法建立紫外-真空紫外光谱辐射标准2 壁稳氧弧作为其 中一种标准∞和传递标准的光源血.4J 得到进一步的应用与发展9 本文描述我们研制的 2.5kW 小型壁稳茧弧的结构及其辐射特性p 给出氧弧等离子体 温度和电子密度的光谱学诊断结果p 证实氧弧的连续光谐辐射可以用 Hofsaess 理论计算J 准 确度好于 10%。 光源及测试装置 --、 图 1 给出壁稳氢弧结梅。其中铜制限弧片厚 2mm，中心孔直径 3 土O.Olmm 限弧片 o 间隔 0.2 皿m，用聚四氟乙烯圈密封。内外密封圈的环形空隙构成冷却水通道。限弧片与水 接触的表面喷涂一层厚30μm 的聚四氟乙烯膜p 以防漏电。氢弧的阴极和阳极用鸽牡材料制 min 成3 直径分别为 5mm 和 2.5mm，并与电极座绝缘。氢弧和电极总的冷却水流量为41/ o 采用流动方式为氢弧供气3 氧气纯度为 99.999% ，流量 41/min，弧室内压强一般保持在 1.75x 10Pa，由压强传感器监测p 准确度达:1:0.1%。氧弧最大工作电流 45A，电压 55V， 由直流稳流电源供电y 其电流稳定度好于O.02%/h o 氧弧通过四级差分泵单元连接到真空紫外单色仪，以代替通常所用的窗口 p 这样就避免 了窗口由于受强紫外线辐照而透过率不断下降(真空系统中有油)所带来的麻烦。差分泵单