制程及技术发展.ppt

第8章 LTPS製程與技術發展 前言 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器(Low Temperature Poly-Silicon Thin Film Transistor，LTPS TFT LCD)，乃指其TFT中之半導體薄膜的結晶形態是多結晶(Polycrystalline)，並非是非結晶(Amorphous)的。 Poly-Si/α-Si特性比較 α-Si TFT LCD的結構簡單化和畫面高精細化。 P-Si TFT LCD是崁入不同功能的IC於玻璃基板上，減少模組工程上所使用IC的數量，換言之，模組接點減少，可靠度提升。 LTPS TFT LCD的特點 LTPS TFT LCD的特點，還有 載體的移動度(Mobility)為非晶矽的300倍 低耗電 高亮度 高解析度 輕薄短小 高品質 完美的系統整合 LTPS TFT LCD的前段製程 陣列電路設計(1) LTPS TFT周邊電路的設計必須崁入主陣列電路，整合於同一片基板玻璃上 可以減少半導體零組件的使用數量 可以減少後段工程組合時接著點的數目 使結構簡單化和工程可靠度提高 陣列電路設計(2) 整體電路設計時，應考慮低耗電量 耗電量的值(P)是與 頻率(f) 電容(C) 電壓平方(V2)成比例關係 陣列電路設計(3) 電容值減低的對策 信號線(Busline)的線幅寬細線化 TFT的小型化 低電壓的對策 使啟動電壓減低，唯一