传感器原理与传感器技术第1章　传感器的基础理论.ppt

1.应变式传感器的结构 图2-2　电阻应变片结构示意图1—引出线　2—覆盖层　3—基片　4—电阻丝 2.应变式传感器的类型 (1)电阻丝式应变片　(2)箔式应变片　(3)薄膜应变片　(4)半导体应变片　 (1)电阻丝式应变片　 图2-3　几种常见的电阻丝式应变片a)U形　b)V形　c)H形 电阻丝式应变片的敏感元件是丝栅状的金属丝，金属丝弯曲部分可制成圆弧(U形)、锐角(V形)或直角(H形)，如图2-3所示。 (2)箔式应变片　 图2-4　几种常用的箔式应变片 箔式应变片的工作原理和结构与丝式应变片基本相同，但制造方法不同。 (3)薄膜应变片　 图2-5　半导体应变片的结构图1—硅条　2—内引线　3—基底4—电极　5—外引线 (4)半导体应变片　 半导体应变片的工作原理是基于半导体的压阻效应，压阻效应是指对半导体施加应力时，半导体的电阻率会发生改变的现象。 2.2.2　应变式传感器的特性 1.应变片电阻值R2.灵敏系数K3.横向效应4.线性度5.应变极限6.零漂和蠕变7.最大工作电流8.绝缘电阻9.电阻应变片的动态特性10.应变片的温度误差及补偿 1.应变片电阻值R 应变片在没有粘贴及未参与变形前，在室温下测定的电阻值称为初始电阻值(单位为Ω)。应变片电阻值有一定的规格，如60Ω、120Ω、250Ω、350Ω和1000Ω，其中以120Ω最为常用。