制造技术第8章-压电驱动与控制技术.pptVIP

多腔体压电泵的基本结构 中国农业大学 多腔体压电泵的输出特性 对于两腔串联压电泵，实测的单腔与双腔的输出压力、输出流量与激振电压的关系分别如图8-57与图8-58所示，输出流量与输出压力关系如图8-59所示，激振频率的影响关系如图8-60所示。 中国农业大学 多腔体压电泵的基本结构 中国农业大学 多腔体压电泵的基本结构 中国农业大学 8.4 压电开关阀与压电伺服阀 8.4.1 压电型前置驱动器 8.4.2 压电型高速开关泵 8.4.3 压电型电液伺服阀 中国农业大学 8.4.1 压电型前置驱动器 中国农业大学 传统电液阀的电气-机械转换器采用的力矩马达或电磁马达由于受电磁转换能力、工艺的影响及尺寸等因素制约，响应速度难于进一步提高。而压电型电液阀是通过压电晶体的逆压电效应将电信号转换为机械变形，通过适当的执行机构进而形成驱动能力的，它与电磁式力矩马达比较，具有以下特点： 8.4.1 压电型前置驱动器 中国农业大学 结构简单、可靠 频率响应高 不产生磁干扰 控制精度高 输出力大 8.4.2 压电型高速开关阀 中国农业大学 日本名古屋大学利用PZT双晶片型压电驱动器，研制了一种响应频率较高、流量较大的高速开关阀。如图8-66所示。该阀通过控制一块双晶片型压电驱动器来关闭或打开不同的喷嘴以驱动锥阀运动.实际结果表明,该阀响应频率可达200Hz,在20Mpa系统压力时输出流量达9.24L/min。 8.4.2 压电型高速开关阀 中国农业大学 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 这种马达样机之一的性能示于图8-24中，可见其滑杠(移动体)的速度较快，推算其驱动力大约为150gf～200gf，但驱动力 的最大值不会超过摩擦力 (μ：摩擦系数)。 中国农业大学 当采用可控直流电源电压进行驱动时，这种移动马达也可作为直线精密定位载物台的驱动机构，图8-25是它的位移说明。 同一种位移两个方向振动的组合型压电马达 中国农业大学 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 图8-26给出了门型压电振子结构及其有限元分析的变形情况。 中国农业大学 图8-26所示门型马达的激振频率为90kHz，加在两个层叠振子上的激振电压同频但相位差为90°时，则门型振子驱动足(下部的摩擦工作面)各点的运动轨迹如图8-27所示，即较强的纵振动与弯曲振动相叠加，形成了椭圆运动。 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 中国农业大学 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 这种马达的样机之一的激振电压与空载速度关系示于图8-28中。激振电压为10Vrms的负载特性示于图8-29中，可见马达的最大速度为20cm/s，最大推力为100gf，其中摩擦工作面的耐摩材料选用为聚酰亚胺系复合材料。 中国农业大学 间接激励的振动生成及其组合型压电马达 中国农业大学 双弯曲压电振子型驻波马达 双弯曲振子型的压电马达可通过一个位置一种信号的激励，实现振子上两个不同位置的弯曲振动，从而在接触摩擦点形成椭圆运动并造成对从动件的拨动，因而系统更为轻小简单、造价低。这种振子两个位置的弯曲振动是分别由直接激励与间接激励获得的，所以结构上可以看做前述几种结构马达优点的结合。 中国农业大学 双弯曲压电振子型驻波马达 双弯曲驻波旋转型压电振子(定子)的结构如图8-30所示，在一个圆环(或圆盘)上设置n个(n?3)凸起，底侧贴置有与圆环相同尺寸的压电陶瓷。 中国农业大学 由有限元分析获得的双弯曲压电振子的工作状态如图8-31所示。 双弯曲压电振子型驻波马达 中国农业大学 8.2.3 非接触超声波马达 现有的理论与试验已经证实超声波的幅射压具有一定的推动力，可由适当的机构转换形成对物体的驱动。所以超声波振动能量的转换可以采用接触与非接触两种方式来实现,从而构造出接触式或非接触式的超声波马达。 中国农业大学 图8-36(a)和(b)分别为接触型行波超声驱动和非接触行波超声驱动的工作示意图。 8.2.3 非接触超声波马达 中国农业大学 8.2.3 非接触超声波马达 接触型行波压电马达采用两路相位差为90度的电信号激励振子形成行波。根据波动理论可知振子表面质点将形成椭圆运动，振子在接触点处通过摩擦推动转子转动；非接触型行波超声波马达的振子(定子)和转子之间有一定间隙，当振子产生行波时，转子沿着行波前进的方向转动。经比较分析它们的主要区别为： 中国农业大学 8.2.3 非接触超声波马达 接触型行波压电马达是通过振子和转子间的摩擦实现驱动的；非接触压电马达通常认为是由声流或声压驱动的； 中国农业大学 接触型行波压电马达转子转动方向与振子中行波前进的方向相反；非接触行波压电马达转子转动方向与振子中行波前进的方向相同； 8.2.3 非接触超声波马达 接触型行波压电马达的工作