计量学07几何量计量.pptx

第7章 几何量计量几何量计量是最早的计量领域。精密仪器和机床制造业零件标准化要求不断提高, 都依赖几何量计量测试手段的进步。·主要内容:》几何量计量原则,》长度基准及光波干涉测量,》长度计量，角度计量,工程参量计量。》了解纳米计量和视觉测试技术。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv1第1节 几何量计量的基本概念?7.1.1 几何量的概念·几何量:表征物体的大小、长短、形状和位置。 另外的工程参量：圆度、锥度、粗糙度、渐开线、 螺旋线等。基本参量是长度和角度.·开展长度、角度和工程参量的测试计量,进行量值传 递，确保量值统一和正确，确保产品加工质量。·计量单位： 长度: 米(m)平面角:弧度(rad)； 立体角:球面度(sr=s/r2）角度:平面角可用度、分、秒：1°=（Pai/180）rad，1’=（1/60）° 1”=(1/60)’精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念1）测量对象和被测量（属性多参数）2）计量单位：定量比较的标准量值。在测量过程 中，以物质形式体现出来。·几 何 量测 量 的3）测量方法：直接测量和间接测量；绝对测量 和相对测量；接触测量和非接触测量；综合测量 和单项测量。四个要素4）测量结果的准确度：测量结果的正确 可靠程度。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念?7.1.2 几何量测量的四条基本原则1）阿贝原则（阿贝，1890）：被测尺寸线应与标准 尺寸线相重合或在其延长线上，否则将会带来较大的 测量误差。·卡尺不符合阿贝原则，而千分尺符合阿贝原则。 卡尺不确定度比千分尺大很多。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念千分尺符合阿贝原则二次微小误差；卡尺不符合阿贝原则一次线性误差（阿贝误差）精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念·实际中应尽量符合上述原则，或设法补偿（爱朋斯坦 原理），双、三坐标有布莱恩原理。2）最小变形原则－为使测量结果准确可靠，尽可 能使测量链中硬件部分各环节引起的变形最小。（仪器设计制造必须考虑）》测量接触变形、》热变形》自重变形（与支撑方式和支点位置有关）精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念L被测工件自重变形l根据材料力学有关理论·贝赛尔点： l / L ? 2/ 9， 适于检测线纹尺， 适于大量块·艾利点：l / L ? 11/19·中间和两端下降量相等条件，适于检定大平尺的 直线度、平面度。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第1节 几何量计量的基本概念3）最短测量链原则:做到测量环节最少即测量链最短，可使总的测量误差控制在最小的程度。（测量信息转 换环节按顺序排列称为测量链）圆分度起始和末尾刻线重合——封闭特性，可得到测量的封闭原则。“自然力效应”4）封闭原则:在测量中如能满足封闭条件，则其间隔 误差的总和必为零。圆周分度间隔的误差总和必为0（这是角度计量最基本原则，不仅使总累计误差为0，而且不需 要其他标准器具就可实现自身检定大大简化了角度量值的传递）。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第2节 几何量计量基准原理与方法7.2.1 长度单位米的定义·1791年始测地球子午线，按地球子午线的1/4*107用 铂制成了第一根标准米尺。·1983年17th国际计量大会将“米”定义为“光在真空 中1/299792458s≈3ns时间间隔内行程的长度”（常用 633nm的He-Ne激光）。·光速在真空中不变，基准米用激光波长来定义就更 加精确了。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv第2节 几何量计量的基准原理与方法7.2.2、 工作波长标准及测长干涉仪·以激光波长定义米基准后，须用激光干涉仪在长度 计量中发挥作用。·基于迈克尔逊干涉原理，将光分成两路被测量》一路测量光》一路参考光干涉 形成亮/暗点·干涉条纹是两路光的光程差相同点联成的轨迹。·测量光和参考光干涉出波结，实现长度计量。精思国计，细量民生ReEdBy TianGjun,YanshanUniv7.2.2、 工作波长标准及测长干涉仪1、稳频激光器 ? ? 2l ，q 设激光器中介质的折射率不变。L是腔长，q是正整数（半波数）。?1）频率稳定度：Sr ? Δ? ?10?9 ~ 10?10_变化量/参考频率(均值)一般注明时间范围R ? ?? /?2）频率复现性：同一激光在不同时间