培训系列之3(刘坤)真空系统设计.ppt

《真空技术》 一. 真空技术发展概况 （杨乃恒） 二. 真空工程理论基础 （孙丽娜） 三. 真空系统设计 （刘坤） 四. 低真空获得设备 （张以忱） 五. 清洁真空获得技术 （巴德纯） 六. 中真空获得设备 （张以忱） 七. 高真空与超高真空获得设备 （杨乃恒） 八. 真空测量 （刘玉岱） 九. 真空检漏 （刘玉岱） 十. 真空镀膜（一）：PVD物理气相沉积 （张以忱） 十一. 真空镀膜（二）：CVD化学气相沉积 （张世伟） 十二. 真空冷冻干燥技术 （徐成海） 十三. 真空设备的自动化控制 （王庆） 十四. 真空材料与真空卫生 （张以忱） 课程内容 1.真空系统的组成 2.真空系统组成元件及连接 3.真空系统的设计计算 1.真空系统的组成 1.1真空系统的概念 1.2真空系统的组成元件 1.3真空系统的分类 1.4真空系统设计的基本内容 1.1 真空系统的概念 什么是真空系统？ 用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 马德堡半球实验 磁控溅射与离子束联合镀膜机 多功能离子注入设备 金属蒸汽真空弧源注入机 核聚变中JET装置主体的结构 托卡马克装置结构图 X射线光电子能谱仪 扫描电子显微镜 扫描