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微电子工艺之金属化.pptxVIP

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  • 2020-02-28 发布于上海
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微电子工艺之金属化.pptx

    第六章 金属化与多层互连技术;第六章 金属化与多层互连技术;第六章 金属化与多层互连技术;三、欧姆接触;三、欧姆接触;三、欧姆接触;第六章 金属化与多层互连技术;四、 金属化的实现;四、 金属化的实现;图8－5 平板型磁控溅射源示意图;;四、 金属化的实现;五、铝硅接触;五、铝硅接触;五、铝硅接触;;六、 多层布线;六、 多层布线;六、 多层布线;;a) 金属----半导体接触前能带图;b.金属－半导体接触后能带图;2.简并半导体;

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