薄膜厚度监控.pptVIP

薄膜厚度的监控;一、概述;二、电阻法;三、石英晶体振荡法;将石英振荡频率对厚度求微分可得：Δf=-NΔd/(d2)，它的意义是，若石英厚度d改变Δd，则振动频率变化Δf。负号表示频率随厚度的增加而减小。厚度Δd的质量改变为Δm，薄膜密度为ρ＝m/v，则有：;上式表明，Δf与f的平方成正比。如果晶体的基频f越高，控制灵敏度也越高，这要求晶体的厚度足够小。在沉积过程中，晶体振荡的频率不断下降，根据上面公式计算的厚度变化时，f应修正为晶体与沉积薄膜质量的共振频率。随着膜厚的增加，石英晶体的灵敏度降低，通常频率的最大变化不得超过几千赫，不然振荡器工作将不稳定，甚至停止振荡。为了保证振荡器工作稳定和保持较高的灵敏度，晶体上的膜层镀到一定厚度后就要清洗，或更换晶体头。;石英晶体监控有三个非常实际的优点：1是装置简单，没有通光孔的窗口，没有光学系统安排等麻烦；2是信号容易判读，随着膜厚的增加，频率线性地下降，与薄膜是否透明无关；3是它还可以记录沉积速率，这些特点使它很适合于自动控制；对于小于8分之一光学波长厚度也具有较高的控制精度。;晶体振荡膜厚仪实例;STC-200/SQ 膜厚控制器 ;四、目视法;如上图所示，在折射率为n2的基板上沉积了一层折射率为n1厚度为d1的薄膜，当一入射光从空气往薄膜入射时，由于空气与薄膜界面以及薄膜与基片界面的两个界面的反射光产生干涉，因此反