半导体工艺控制标准.docxVIP

有 色 金 属 - 国 际 -SEMI 半 导 体 - 硅材 料 工 艺 控 制 标 准 录 入 ： 王 凯   2008-7-9 人 气 ： 20 序 号 标 准 号 标 准 名 称 所 属 委 员 会 / 卷 号 1 SEMI MS1-0306 晶 片 结 合 对 准 标 线 规 范 指 南 2 SEMI MF 2166- 0304 通 过 使 用 特 殊 参 考 晶 片 监 控 非 接 触 式 电 介 质 评 定 系 统 的 方 法 3 SEMI MF 2139- 1103 采 用 二 次 离 子 质 谱 法 测 量 硅 衬 底 上 氮 浓 度 的 方 法 4 SEMI MF 2074- 1103 硅 及 其 他 半 导 体 材 料 晶 片 直 径 的 测 量 方 法 指 南 5 SEMI MF 1982- 1103 热 解 吸 附 气 相 色 谱 法 评 估 硅 片 表 面 有 机 污 染 物 的 方 法 6 SEMI MF1811- 0704 从 表 面 轮 廓 数 据 估 计 功 谱 密 度 和 相 关 加 工 参 数 的 指 南 7 SEMI MF 1810- 0304 用 于 记 录 硅 片 择 优 腐 蚀 和 加 工 表 面 缺 陷 的 方 法 8 SEMI MF 1809- 0704 表 征 硅 中 结 构 缺 陷 的 腐 蚀 溶 液 的 选 择 和 使 用 指 南 9 SEMI MF 1771- 0304 通 过 电 压 斜 线 上 升 技 术 评 估 栅 极 氧 完 整 性 的 方 法 10 SEMI MF 1763- 0706 线 性 偏 光 镜 测 试 方 法 11 SEMI MF 1727- 0304 硅 抛 光 片 表 面 氧 化 诱 生 缺 陷 的 检 测 方 法 12 SEMI MF 1726- 1103 硅 片 结 晶 学 完 整 性 分 析 规 程 13 SEMI MF 1725- 1103 硅 锭 结 晶 学 完 整 性 的 分 析 方 法 14 SEMI MF 1724- 1104 采 用 酸 萃 取 － 原 子 吸 收 光 谱 法 测 量 多 晶 硅 表 面 金 属 沾 污 15 SEMI MF 1723- 1104 通 过 漂 移 区 生 长 和 光 谱 法 评 价 多 晶 硅 棒 的 方 法 16 SEMI MF 1708- 1104 用 区 融 和 光 谱 分 析 仪 评 定 粒 状 多 晶 硅 的 规 程 17 SEMI MF 1630- 0704 单 晶 硅 Ⅲ － Ⅴ 级 杂 质 的 低 温 FT － IR 分 析 测 试 方 法 18 SEMI MF 1619- 以 布 鲁 斯 特 角 入 射 P 偏 振 辐 射 红 外 吸 收 1105 光 谱 法 测 量 硅 片 中 间 隙 氧 含 量 19 SEMI MF 1618- 1104 硅 晶 片 薄 膜 的 不 均 匀 性 判 定 规 程 20 SEMI MF 1617- 0304 二 次 离 子 质 谱 法 测 定 硅 和 硅 外 延 衬 底 表 面 上 钠 、 铝 和 钾 序 号 标 准 号 标 准 名 称 所 属 委 员 会 / 卷 号 21 SEMI MF 1569- 0705 半 导 体 技 术 用 统 一 参 考 材 料 的 形 成 指 南 22 SEMI MF 1535- 1106 用 微 波 反 射 非 接 触 光 电 导 衰 减 方 法 测 试 硅 晶 片 载 流 子 复 合 寿 命 的 方 法 23 SEMI MF 1530- 1105 用 非 接 触 自 动 扫 描 法 测 量 硅 片 平 整 度 、 厚 度 和 厚 度 变 化 的 试 验 方 法 24 SEMI MF 1529- 1104 用 双 配 置 程 序 的 一 列 式 四 点 探 针 法 评 定 薄 板 阻 抗 不 均 匀 性 的 方 法 25 SEMI MF 1528- 1104 用 二 次 离 子 质 谱 法 测 量 重 搀 杂 N 型 硅 衬 底 中 的 硼 污 染 的 方 法 26 SEMI MF 1527- 1104 用 于 硅 电 阻 测 量 仪 器 校 准 和 控 制 的 参 考 材 料 和 参 考 晶 片 的 使 用 指 南 27 SEMI MF 1451- 1104 用 自 动 无 接 触 扫 描 法 测 量 硅 片 峰 谷 差 的 方 法 28 SEMI MF 1392- 1103 用 带 汞 探 针 的 容 量 － 电 压 测 量 器 测 定 硅 晶 片 中 净 载 流 子 密 度 分 布 的 测 试 方 法 29 SEMI MF 1391- 0704 红 外 吸 收 法 测 试 硅 中 替 位 碳 原 子