【课件】2016-02-25-第二讲-微电子材料-张海霞.pptxVIP

第二讲微电子的材料张海霞(Alice)mailto:hxzhang@hxzhang@2016年2月25日上午8:00-9:50主要内容一、第一讲知识点回顾知识点1：晶体管的发明知识点2：集成电路与信息革命知识点3：摩尔定律知识点4：微电子的分类 (参考书p9-12，自学）二、微电子材料第一个晶体管的发明1947年12月23日第一个晶体管在贝尔实验室诞生。1956年，诺贝尔物理学奖授予了三名主要发明者：约翰·巴丁(John Bardeen)、威廉·肖克利 (William Shockley)、华特·布拉顿 (Walter Houser Brattain)。1958年9月12日TI公司杰克.基尔比 (Jack S. Kilby) 研制出第一块集成电路，2000年获得诺贝尔物理学奖。1957年，八大天才叛逆事件仙童公司与硅谷Silicon Valley奇迹对世界最具影响力的五个人戈登. 摩尔Gordon .Moore 发现“摩尔定率”1964发现并预言了摩尔定率仙童公司英特尔(Intel)公司创始人之一CEO 张忠谋 Zhang zhonmou1987年创建了一个纯芯片制造代工的台积电模式，开创了代工时代 1985年台湾工研究院院长 罗伯特. 诺伊斯Robert.?Noyce 发明可商业化量产的集成电路 1959-7真正实现了半导体硅平面工艺 创办仙童公司和英特尔公司 安迪 格罗夫Andy Grove1986年提出“英特尔，微处理器公司，核心、双核、四核 改变世界！”仙童公司英特尔 CEO 杰克. 基尔比Jack S. Kilby?集成电路发明者1958-9-12研制出世界上第一块集成电路 2000年获诺贝尔物理学奖 摩尔定律—半导体工业界的信仰1965年4月19日，时任/view/621898.htm仙童半导体公司研究开发实验室主任的摩尔应邀为《电子学》杂志35周年专刊写了一篇观察评论报告，题目是：“让集成电路填满更多的元件”。摩尔首次提出摩尔定律，1975年修正。　1．/view/1355.htm集成电路芯片上所集成的晶体管的数目，每隔18个月就翻一番。 　2．/view/1125.htm微处理器的性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一半。 　3．用一个美元所能买到的/view/2358.htm电脑性能，每隔18个月翻两番。 实际：约每三年集成度翻二番（4倍）;特征尺寸缩小到0.7倍 (一个技术节点） 从事实上讲，摩尔定律并不是一个物理定律，而是一种预言，一张时间表。它鞭策半导体产业界不断进步，并努力去实现它。从根本上讲，摩尔定律是一种产业自我激励的机制，谁跟不上，谁就可能被残酷地淘汰。摩尔定律已成为一盏照亮全球半导体产业前进方向的明灯。摩尔定律还能适用多少年？超越摩尔定律？　 《半导体和它的应用》 黄昆著 北京科学普及出版社 1956 《半导体物理学》黄昆，谢希德著 科学出版社 1958 　《固体物理学》黄昆著，韩汝琦改编 高等教育出版社 1988 黄昆1957-1965 分立器件研究1957年，北京电子管厂拉出锗单晶；1959年，天津电子管厂拉出硅单晶1962年，河北半导体所硅外延平面型晶体管1965年，第一块半导体集成电路诞生1965-1978 文化大革命1978- 1990复苏：引进二手设备，改善装备；1990-2000发展：908、909工程以CAD（熊猫工程）为突破口，完善建设基地与人才培养；2000年起飞：以中芯国际为代表的代工厂引领产业化加速，科研全面开花王阳元2001年9月25日，投资金额14．8亿美元的中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，在上海张江高新科技园区举行了“中芯第一芯”投产庆典，庆祝第一片8英寸、0.25微米以下线宽的芯片上线生产。 　硅谷第一公民与弃儿 ？1910年2月13日，生于伦敦，3岁回到加州。1948年1月23日，？想到结型晶体管(PNP)的方法。1951年，他领导研制出第一个可靠的结型晶体管。1955年，？回到老家加州圣克拉拉谷，建立实验室股份有限公司。1956年，诺贝尔物理学奖授予？等三人。1960年，实验室卖给了克莱维特实验室，1965年又转卖给了ATT。1963年，？正式离开公司，到斯坦福大学做了教授。1968年，公司永远关闭。二、微电子材料1、半导体材料2、晶格与掺杂3、硅材料详解4、常用半导体材料材料科学金属：电导率在10e4～10e6(O?cm)-1半导体材料：电导率在10e4～10e-10(O?cm)-1绝缘体：电导率在10e-10(O?cm)-1半导体材料的特性导电率：导电能力介于导体与绝缘体之间的固体，其电导率在10e4～10e-10(O?cm)-1；一般情况下，半导体材料的电导率随温度的升高而增大，与金属导体恰好相反 。半导体与金属的区别：半导体中存在禁带而