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论薄膜材料的应用与发展 论文关键词：薄膜； 金刚石； 铁电； 氮化碳； 半导体； 超晶 格 论文摘要： 薄膜材料的发展以及应用，薄膜材料的分类，如金刚 石薄膜、铁电薄膜、氮化碳薄膜、半导体薄膜复合材料、超晶格薄膜 材料、多层薄膜材料等。各类薄膜在生产与生活中的运用以及展望。 1 膜材料的发展 在科学发展日新月异的今天，大量具有各种不同功能的薄膜得到 了广泛的应用，薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重 要的地位。 自然届中大地、海洋与大气之间存在表面，一切有形的实体都为 表面所包裹，这是宏观表面。生物体还存在许多肉眼看不见的微观表 面，如细胞膜和生物膜。生物体生命现象的重要过程就是在这些表面 上进行的。细胞膜是由两层两亲分子--脂双层膜构成，它好似栅栏， 将一些分子拦在细胞内，小分子如氧气、二氧化碳等，可以毫不费力 从膜中穿过。膜脂双层分子层中间还夹杂着蛋白质，有的像船，可以 载分子，有的像泵，可以把分子泵到膜外。细胞膜具有选择性，不同 的离子须走不同的通道才行，比如有 K＋通道、Cl－通道等等。细胞膜 的这些结构和功能带来了生命，带来了神奇。 2 膜材料的应用 人们在惊叹细胞膜奇妙功能的同时，也在试图模仿它，仿生一直 以来就是材料设计的重要手段，这就是薄膜材料。它的一个很重要的 应用就是海水的淡化。虽然地球上 70％的面积被水覆盖着，但是人们 赖以生存的淡水只占总水量的 2.5％～3％，随着人口增长和工业发展， 当今世界几乎处于水荒之中。因此将浩瀚的海水转为可以饮用的淡水 迫在眉睫。淡化海水的技术主要有反渗透法和蒸馏法,反渗透法用到的 是具有选择性的高分子渗透膜,在膜的一边给海水施加高压,使水分子 透过渗透膜,达到膜的另一边,而把各种盐类离子留下来,就得到了淡水。 反渗透法的关键就是渗透膜的性能,目前常用有醋酸纤维素类、聚酰胺 类、聚苯砜对苯二甲酰胺类等膜材料.这种淡化过程比起蒸法法,是一 种清洁高效的绿色方法。 利用膜两边的浓度差不仅可以淡化海水,还 可以提取多种有机物质。工业生产中，可用膜法过滤含酚、苯胺、有 机磺酸盐等工业废水，膜法过滤大大节约了成本,有利于我们的生存环 境。 膜的应用还体现在表面化学上面。在日常生活中,我们会发现在树 叶表面,水滴总是呈圆形,是因为水不能在叶面铺展。喷洒农药时,如果 在农药中加入少量的润湿剂(一种表面活性剂),农药就能够在叶面铺展,提 高杀虫效果,降低农药用量。 更重要的，研究人员还将膜材料用于血液透析，透析膜的主要功 能是移除体内多余水份和清除尿毒症毒素，大大降低了肾功能衰竭患 者的病死率[1] 3 膜材料的分类 近年来,随着成膜技术的飞速发展,各种材料的薄膜化已经成为一 种普遍趋势。 薄膜材料种类繁多,应用广泛,目前常用的有：超导薄膜、 导电薄膜、电阻薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、绝缘薄膜、钝化与保 护薄膜、压电薄膜、铁电薄膜、光电薄膜、磁电薄膜、磁光薄膜等。 目前很受人们注目的主要有一下几种薄膜。 3.1 金刚石薄膜 金刚石薄膜的禁带宽，电阻率和热导率大，载流子迁移率高，介 电常数小，击穿电压高，是一种性能优异的电子薄膜功能材料，应用 前景十分广阔[2]。 近年来,随着科技的发展,人们发展了多种金刚石薄膜的制备方法, 比如离子束沉积法、磁控溅射法、热致化学气相沉积法、等离子化学 气相沉积法等.成功获得了生长速度快、具有较高质量的膜,从而使金 刚石膜具备了商业应用的可能。 金刚石薄膜属于立方晶系,面心立方晶胞,每个晶胞含有 8 个 C 原 子,每个 C 原子采取 sp3 杂化与周围 4 个 C 原子形成共价键,牢固的共 价键和空间网状结构是金刚石硬度很高的原因.金刚石薄膜有很多优异 的性质：硬度高、耐磨性好、摩擦系数效、化学稳定性高、热导率高、 热膨胀系数小,是优良的绝缘体。 利用它的高导热率,可将它直接积在硅材料上成为既散热又绝缘的 薄层,是高频微波器件、超大规模集成电路最理想的散热材料。利用它 的电阻率大,可以制成高温工作的二极管,微波振荡器件和耐高温高压 的晶体管以及毫米波功率器件等。 金刚石薄膜的许多优良性能有待进一步开拓,我国也将金刚石薄膜 纳入 863 新材料专题进行跟踪研究并取得了很大进展、金刚石薄膜制 备的基本原理是:在衬底保持在 800~1000℃的温度范围内,化学气相沉 积的石墨是热力学稳定相,而金刚石是热力学不稳定相,利用原子态氢 刻蚀石墨的速率远大于金刚石的动力学原理,将石墨去除,这样最终在 衬底上沉积的是金刚石薄膜。薄膜种类层出不穷，一种新的薄膜的出现能够促进某 些领域的加快生产，取代某些生产辅助原料，因为薄膜的使用几乎涵盖了各个领域，金刚石薄 膜的出现不仅仅是生产领域的一次变革，也是国际开发史上的一个重要里程碑。 金刚石薄膜的禁带宽，电阻率和热导