第2章 真空泵与真空规.pptVIP

第二章 真空泵与真空规;典型的真空系统应包括：待抽空的容器（真空室）、获得真空的设备（真空泵）测量真空的器具（真空规），以及必要的管道、阀门和其他附属设备。 能使压力从一个大气压开始变小，进行排气的泵常称为“前级泵”。另一些只能从较低压力抽到更低压力，这些真空泵称为“次级泵”。真空泵是获得真空的关键设备。 ;真空泵:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，即用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置 。 分类标准：结构和工作原理 按结构分：旋片真空泵、往复真空泵、罗茨真空泵、滑阀真空泵、液环真空泵、喷射泵等 ;真空泵简介;真空泵类型;真空泵类型;真空泵类型;真空泵类型;真空泵的极限真空限制因素： 1.泵体结构上存在有害空间，该空间的气体，受压后漏到吸气空间。 2.吸气空间和排气空间之间存在气压差，排气空间高压气体从间隙窜回到吸气空间。 3.在吸气和排气空间的泵油气，也在上述两空间之间循环流动。;总结说明： 为了提高气体的密封效果，防止气体回流，旋片式机械泵的运动部件之间只有很小的配合间隙，并且在泵体内还利用油来作为运动部件间的密封物质。同时，油还起着对这些机械部件进行润滑的作用。 主要性能指标： 抽速：1~300 L/s 极限真空度：单级旋片泵 1Pa ，两级串联 0.01Pa 旋片式机械泵不仅可以单独使用，而且经常被用做其