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机械设备| 证券研究报告— 首次评级 2020 年5 月14 日
[Table_Stock]
688037.SH 芯源微
买入
打破TEL 绝对垄断,推动涂胶显影设备国产化
原评级: 未有评级 ummar y]
市场价格:人民币120.75 沈阳芯源微电子成立于2002 年,与中微半导体、北方华创、盛美半导体、上
海睿励等同样耕耘10 多年,致力于集成电路工艺设备国产化。公司是国内唯
板块评级:强于大市 一一家研发与制造涂胶显影设备的企业,目前已有前道I-line 涂胶显影机在长
本报告要点 江存储上线进行工艺验证,前道Barc (抗反射层)涂胶设备在上海华力通过
验证,已陆续获得株洲中车、青岛芯恩、上海积塔、宁波中芯、昆明京东方、
涂胶显影设备国产化.
[Table_PicQuote] 厦门士兰等多个前道大客户的订单,涂胶显影设备的进口替代已经起航。
股价表现
支撑评级的要点
147% 国内集成电路工艺设备企业中,芯源微电子是定位于涂胶显影设备的唯
116% 一厂商。沈阳芯源微电子成立于2002 年,和睿励、安集微电子、盛美半
85% 导体、上海微、中微半导体、北方微等老牌国产半导体设备制造商一样,
53% 诞生于同一个时代,至今已有18 年经营历史和技术积淀。公司集成电路
22% 客户主要包括台积电、上海华力、中芯国际、长江存储、华为、华天科
(9%)
9 9 9 9 9 9 9 9 0 0 0 0 技、长电科技、通富微电等。
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