第36节 微机械及其微细加工技术.pptVIP

3.6 微机械及其微细技术加工 ? 我国的微系统研究起步并不晚，目前从 事微机电系统研究的单位有 60 多个，主 要集中在高校、中科院及信息产业部的 研究所。已积累了一些基础技术，取得 了一些传感器和微执行器的研究经验和 科研成果，多数为实验室产品，商品化 工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。 3.6 微机械及其微细技术加工 二、微机电系统材料 ? 硅材料 微机械加工源自于微电子集成制造，所 以在微机电系统材料中，硅是最常用的 材料。硅具有良好的机电合一特性。 3.6 微机械及其微细技术加工 特点： 1 、既有足够的机械强度，又有良好的电 性能，便于实现机电器件的集成化。 2 、硅的加工精度比较高，容易生成绝缘 薄膜。 3 、硅具有压阻效应、霍尔效应。 4 、硅材料密度小，为不锈钢的 1/3 ，而弯 曲强度却为不锈钢的 3.5 倍。 3.6 微机械及其微细技术加工 压阻效应：电阻阻值变化与应变成正比。 霍尔效应：霍尔效应是磁电效应的一种， 将一块半导体或导体材料，沿 Z 方向加以 磁场 ，沿 X 方向通以工作电流 I ，则在 Y 方向产生出电动势 V ，如图所示，这现象 称为霍尔效应。 V 称为霍尔电压。 B ? 3.6 微机械及其微细技术加工 ? 压电材料 一些离子型晶体的电介质存在压电效应 ( 如石英、酒石酸钾钠、钛酸钡等 ) 。可利 用压电效应实现驱动或开发微型传感器。 一、 引言 随着 微／纳米 科学与技术 (Micro/Nano Science and Technology) 的发展，以本 身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的 微机械已成为人们在微观领域认识和改造 客观世界的一种高新技术。 3.6 微机械及其微细加工技术 3.6 微机械及其微细加工技术 微机械是 80 年代末出现的一门崭新的 学科，被誉为 21 世纪最具代表性的技术之 一。 微机电系统与微电子学、信息学、材 料科学和纳米技术的发展等密切相关。被 公认为 21 世纪的重点发展学科，是国家重 点发展的高技术产业。 微机电系统是微电子技术的延伸和拓 宽，通过传感器、致动器、信号处理、控 制等多项功能，与外部世界有机联系起来。 微机电系统的概念始于 20 世纪 80 年代， 一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内 的装置。在不同国家和地区有不同的术 语和解释： ? 美国称作 Micro Electro-Mechanical System - MEMS （ 微型电 - 机系统） 微型电 - 机系统 是由电子和机械组成的集 成化器件或系统，采用与集成电路兼容 的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到 毫米之间。 3.6 微机械及其微细加工技术 ? 在欧洲则称作 Micro System （ 微系统 ） 是指具有微米级结构，可以批量制作的、 集微型机构、微型传感器、微型执行器 以及信号处理和控制电路、甚至外围接 口、通信电路和电源等于一体的微型器 件或系统。 ? 在日本称作 Micro Machine （ 微机器 ） 微机器由只有几毫米大小的功能元件组 成，它能够执行复杂、细微的任务。 3.6 微机械及其微细加工技术 3.6 微机械及其微细加工技术 ? 微机电系统 是指特征尺寸在微米至毫米 范围内，由电子和机械组成的集成化器 件或系统。 按外形尺寸，微机械可划分 为 1 ? 10mm 的微小型机械 ,1 ? m ? 1mm 的微机 械，以及 1nm ? 1 ? m 的纳米机械。 图 1 3.6 微机械及其微细加工技术 微机电系统器件不能用总尺寸来定义，而 用特征尺寸来表征。 特征尺寸：决定器件性质和加工工艺的关 键尺寸。如扩散硅压力传感器的膜厚。 由于微机电系统的基于微电子技术 的背景（从微机械的加工方法来看，它 主要起源于硅集成制造技术），使其具 有集成电子器件所具有的微小、可靠、 灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批 量生产等系列优点。 3.6 微机械及其微细加工技术 微机械具有以下几个基本特点： 1. 体积小 ( 特征尺寸范围为 lnm ～ 10mm) ， 精度高，重量轻， 惯性小 。 2. 性能稳定，可靠性高。 微机械器件体积极小，封装后几乎 可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的 影响，具有较高的抗干扰性，可以在比 较恶劣的环境下稳定工作。 3.6 微机械及其微细加工技术 3. 能耗低，灵敏性和工作效率高（ 响应时 间短 ） 。 完成相同的工作，微机械所消耗的 能量仅为传统机械的十几或几十分之一， 却能以数十倍以上的速度运作。微机电 系统不存在信号延迟等问题，从而更适 合高速工作。 4. 多功能和智能化。 集约高技术成果，附 加价值高。 5. 适于大批量生产，制造成本低廉。 3.6 微机械及其微细加工技术 具有以下一般机械所不能及的优势