第五章电容传感器教学提纲.pptVIP

第五章 电容传感器;电容传感器工作原理可以用平板电容说明： ;一、变面积式电容传感器;变面积式电容传感器的特性同心圆筒变面积式：电容变化及灵敏度为;变面积式电容传感器的特性角位移式：电容变化及灵敏度为;二、变极距式电容传感器 ;变极距式电容传感器的特性;三、变介电常数式 ;三、变介电常数式 （几种介质的相对介电常数;第二节 电容式传感器的测量转换电路 ; Cx为电容传感器，当交流电桥平衡时，其平衡条件为： 当Cx变化时， ，即桥路有输出电压，上述指单臂桥接法。 差动接法时，若Cx1=Cx2，因两电容上叠加的交流电压值相等但相位相反，则 。若CX1≠CX2，因两电容上叠加的交流电压值不等相位相反，则 ，即桥路有输出电压。 相位由相敏检波电路分辨 ;二、调频（FM）电路; ;三、脉宽调制（PWM）电路;;第三节 电容式传感器的应用 ;一、电容板材在线测厚仪;二、硅微加工加速度传感器; 1—加速度测试单元 2—信号处理电路 3—衬底 4—底层多晶硅（下电极） 5—多晶硅悬臂梁 6—顶层多晶硅（上电极） 技术指标： 灵敏度：500mV/g ；量程：10g 频率范围：0.5-2000Hz； 安装谐振点:8kHz ； 分辨力：0.00004g ；重量：200g 安装螺纹：M5 mm ； 线性误差：≤1% ;1、测量过程  利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结 构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。 当它感受到上下振动时，C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1kHz以上，允许加速度范围可达10g 以上。 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。;2、加速度传感器在???车中的应用 ;汽车气囊的保护作用;三、湿敏电容 ;2、湿敏电容模块及传感器外形;多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 ;四、电容式液位计;2、液位限位传感器的设定;智能化液位限位传感器的设定按钮;3、电容式油料位计：用于水泥、化工、罐装等传 感器 静电容： ; 电容式油量表; 电容式油量表; 该油量表可用于飞机油箱;六、电容式接近开关 ;工作原理;2、电容式接近开关外形;3、电容接近开关的规格;4、电容式接近开关在液位测量控制中的使用;电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示;不同材料的非金属检测物对电容式接近开关动作距离的影响;第四节 压力和流量的测量 ; 压力又分绝对压力和相对压力。相对压力又分差压和表压。测量压力的传感器分为绝对压力传感器、差压传感器、表压传感器。 绝对压力传感器：它所测得的压力数值是相对于密封在绝对压力传感器内部的基准真空而言的。 差压传感器：两个压力之差。 表压传感器：它以环境大气压为参考基准，将差压传感器一侧向大气敞开，形成表压传感器。;二、电容式差压变送器1、外形 ;各种电容式差压变送器外形 ;各种电容式压力变送器外形 ;2、电容式差压变送器内部结构 ;Date; 3、工作过程： 当两室分别承受低压（PL）和高压（PH）时， 硅油能 将压差传递到测量膜片， 当PH=PL时，膜片处于中间位置，C1=C2； 当有差压作用时，测量膜片产生形变： PH PL时，膜片PL向弯曲，C1C2， PH PL时，膜片PH向弯曲，C1C2； 将这种电容变化通过电路转换为电压变化 ;电容差压变送器用于测量液体的液位 ;四、流量的基本概念 ;节流式流量计及电容差压变送器在流量测量中的应用 ;叶轮式风流速流量计 （参考北京北方大河仪器仪表 有限公司资料）;玻璃转子流量计; 差压节流式流量计;节流装置（取压管及内部的节流孔板）;节流装置外形;流体流经节流孔板时，压力和流速的变化情况 ;节流装置的另一种形式——文丘里管或文丘里喷嘴;文丘里喷嘴原理示意图 ;导压管的配置