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材料研究方法 分辨率与电子光学系统 南京理工大学材料学院·朱和国 课程内容 一 光学显微镜的分辨率 二 电镜分辨率 三 电镜的电子光学系统 一、光学显微镜的分辨率 光学显微镜的分辨率是指成像物体上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 第一暗环半径： 0.61λ R 0 M n sinα R 0.61λ 分辨率： r0 0 M n sinα λ-波长；α-孔径半角 ； n-折射率；M-放大倍率 （a ）Airy斑 （b ）两个Airy斑靠近到刚好能分辨的临界距离时强度的叠加 图5-1 两个理想物点成像时形成的Airy斑 一、光学显微镜的分辨率 对于光学显微镜，nsinα=1.2左右，n=1.5, α=70°~75° r =1/2λ 0 分辨率主要决定于照明光源的波长，半波长是分辨率的理论极限. 可见光波长为390 ～770nm ，其极限分辨率为200nm （0.2µm ）左右。 人眼分辨率约为0.2mm ，光学显微镜分辨率为0.2µm ，因此光学显微镜的有效放大倍数约为 1000倍。 注意：光学显微镜的放大倍数可以做得更高，但高出的部分只是改善舒适度，对分辨率没有 贡献。通常为1000 ～1500倍。 降低光源波长，可提高显微镜的分辨率。 比可见光波长短的还有紫外线、X射线和γ射线，由于紫外线易被多数物质强烈吸收，而X、γ 射线无法折射和聚焦，它们均不能成为显微镜的照明光源。 二、电镜分辨率 光学显微镜的分辨率－衍射效应决定 电镜的分辨率－衍射效应＋透镜像差 电镜分辨率为衍射分辨率r 和像差分辨率（球差r 、像散r 和色差r ）中的 0 s A c 最大值。（数值愈大，其分辨率愈低） 电镜分辨率分为: 1 ）点分辨率 2 ）晶格分辨率 二、电镜分辨率 1 ）点分辨率 点分辨率是指电镜刚能分辨出两个独立颗粒间的间隙。 点分辨率的测定方法如下： （1 ）制样。采用重金属（金、铂、铱等）在真空中加热使之蒸发，沉积在极薄的碳膜上 ，粒 径在0.5 ～1.0nm之间 ，颗粒在膜上分布均匀 ，不重叠，颗粒间隙在0.2 ～1nm之间。 （2 ）拍片。放大倍数为M的电子显微镜中拍照。 （3 ）测量间隙，计算点分辨率。用放大倍数为5 ～10倍的光学放大镜观察照片 ，寻找并测量 刚能分清时的最小间隙，该间隙值除以总放大倍数，即点分辨率。 二、电镜分辨率 2 ）晶格分辨率 晶格分辨率是让电子束作用标准样品后形成的透射束和衍射束