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Despatch Despatch烧结炉 DDeessppaattcchh 1. 1.外观图 11.. 2. 2.结构简图 22.. 烧结炉所在的位置 3. Despatch ( 烧结炉开关机操作规程手动 3. Despatch ( 33.. DDeessppaattcchh (( 操作模式) ) )) 3.1 开机： � 打开炉子的facilities电源 � 确保facilities的排放系统已运行 � 打开压缩空气供应，确保达到0.75MPa � 打开冷却水供应，确保达到0.4MPa � 启动电脑 � 选择运行程序并上载 � 依次启动utilities 、conveyor、heater按钮 � 如果有必要，通过流量表调节气体流量 � 如果有必要，调节冷却水流量 � 等到系统显示 ready ，开始装载硅片 3.2 3.2关机 33..22 � heater 200 关闭加热器 ，冷却炉带到 ℃ � 停止炉带conveyor � 当炉带速度小于10ipm(1英寸=2.536CM)，关 闭utilities � 关闭电脑 � 关闭炉体气体供应 � 关闭炉体水供应 � 关闭主电源 3.3 ( ) 烧结炉开关机操作规程自动操作模式 3.3 ( ) 33..33 (( )) 自动运行: � 当注册人员在操作时，系统在导入程序后提供 一个自动按钮。 � 点击RUN按钮会启动自动循环系统，这样进 入运行，然后在运输系统达到设定的工作点 并稳定工作时，加热器开始工作。当加热状态 准备好时，说明加热器到达理想的工作点。 停止自动运行 : � 同样的一个RUN按钮可以停止自动过程。点 STOP按钮会启动终止程序，这样加热器开始 冷却。 � 当加热器失效，加热区温度开始下降而其他功 200 能键换是灰色。一旦温度达到 ℃，加热器 显示失效并且运输停止，并立刻导致功能键就 失效。 4. 4.操作界面 44.. 3 4 1 5 1 2 20 6 19