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化学品管道施工工艺详述
在集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中, 生产工艺需用的各种无
机化学品药液(主要包括各类酸、碱、盐等)需要通过管道输送到工艺
设备,这些化学品药液中具有强腐蚀性、易燃性、易爆性和剧毒性等危
害,为防止化学品管道的输送过程对人、设备造成伤害以及对环境造成
的污染,保证电子工业厂房化学品管道安全有效输送,要求此类管采用
双套管的施工方法, 而传统的双套管施工工艺是透明PVC 管内穿PP 管或
PVDF 管的硬管施工方法。
本工艺采用了透明PVC 管内穿PFA 软管的施工方法,即管道系统包
括内外管两层管道, 内管采用四氟乙烯与全氟烃基乙烯醚的共聚物的软
质管道(分PFA/PVDF/ECTFE 等系列), 内管为输送化学品的管道,外管采
用透明PVC 管道,为保护管道。
输送管道规格一般为DN10、20 、25 、50 (1/4”、3/4”、1”、2”)
的焊接型PFA 管材及其管件,管道、附件均通过专用PFA 焊接机
进行焊接,与设备连接通常为法兰连接。
PFA 管道的焊接安装方法PFA 管道的焊接安装方法PFA 管道的焊接安装方法化学品输送管道规格一般为DN10 、20 、25 、50 (1/4 、3/4 、 、 的焊接型PFA 管材及 管件,管道、附件均通过专用PFA 焊接机进行焊接,与设备连接通常为法兰连接。这类管道一般用于接收装置至化学品接收储罐哲灼扼刘粥银韩幕誉萄喧鹊谷肢搂屹羹斋卖糙冕夹豌键
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系统组成:
系统一般由设于化学品间外墙的接收装置、化学品间内的化学品
接收储罐、供给装置、化学品供给管路组成,。
a .化学品接收装置,设置在化学品间内,于外墙设有接收窗,直
接将室外化学品槽车的化学品接收,并注入药品储罐内;
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b.标准化学品接收储罐,置于化学品间地下基础之上,储存化学
品;
c.化学品供给装置,置于化学品间内,向使用设备供应化学品;
d.化学品供给管路,自接收装置至化学品储罐,再由化学品储罐
至化学品供给装置。由外套管及内管组成,外管均为透明PVC 管,
内管由焊接型PFA 管及PFA 弯头组成。这类管道一般用于接收装
置至化学品接收储罐至供给装置的管路。
PFA 管
1、方法特点:
1.1 内穿软管的管道系统由两层组成:内层为四氟乙烯与全氟烃基乙烯
醚的共聚物的PFA软质管道 (以下简称PFA软管),外层为透明PVC
的管道。内穿PFA软管为输送无机化学品的流通的管道,外层透明PVC
管道为保护管路,对防止化学品自内穿软管泄漏起到屏障作用。
1.2外层透明PVC的管道安装完毕,并进行试压合格后,再进行内管PFA
软管的穿管施工。
1.3 外层透明PVC 管的透明效果增强可视性;PFA软管为整卷(通常有
100米和200 米的长度规格),通常中间无接头,直接在透明PVC 管
内穿管。
1.4 本工法将管路内、外管的施工工序有机的组合,确保施工高效、有
序,也能保证施工质量,降低了施工成本同时保障了管道系统的安全。
2、适用范围:
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适用于电子工业厂房的集成电路制造、液晶显示板制造等行业,
生产工艺中使用无机化学品输送且内管为PFA软管的管路系统的施工3、
工艺原理:
3.1 外层透明PVC 管道直接采用专用PVC胶水粘接。
3.2 管道系统无三通分支,管道系统的阀门均设置在设备箱体或专用阀
门箱内。透明PVC 管道弯头采用热风煨弯制作,直线段透明PVC 管道
的连接采用管箍连接,管箍的承口与PVC管道插口采用专用胶水粘接,
从而使外层保护管形成一个成型的整体。
3.3 透明PVC 管道安装完毕并试压合格后,即可进行PFA软管的穿管
施工。
通过上述两道主要工序,使整个管路形成外管套内管的双重管形式
—-PVC 管道内穿PFA软管的组合管道,内管为输送无机化学品的PFA
软质管道,外管
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