定稿PCW系统简介.pptVIP

? 水泵按安装方式分为立式和卧式泵： ① 、结构简单，方便维修； 卧式 立式 ①、扬程高(出水压力大)； 卧式与立式泵在性能上是相同的 卧式泵 立式泵 轴封位置 轴封位置 ② 、轴封不易损坏； ③ 、流量大; ②、直接安装在管道上,占地少； .......... * 对于我们公司的PCW系统: 1, 机台多,且需要稳定连续的冷却水供应，选用的是离心泵； 2, 受机房空间限制，只能选择是立式泵； .......... * ? 水泵的选型 ①、流量Q:单位时间内输送出去的液体量 ；单位为L/S,m3/h; ②、扬程H:液体从泵中获得的动量,即能达到的高度，单位为kgf.m/kgf ； ③、功率P和效率η :电动机传到泵轴上的功率P,与液体在泵中获得的能量的比为效率，用η表示; 效率曲线 0.85-0.95 调整阀件开度 来改变泵的出水特性 .......... * ④、必需汽蚀余量NPSH： 液体从泵吸入口流至叶片进口压力最低处的压力降；NPSHr越小泵抗气蚀能力越强; 汽蚀：离心泵运转中,液体压力沿着泵入口到叶轮入口而下降，在叶片入口附近压力Pk最低。此后由于叶轮对液体作功，液体压力很快上升。当压力pK小于液体输送温度下的饱和蒸汽压力pv时，液体就汽化。同时，使溶解在液体内的气体逸出。它们形成许多汽泡。当汽泡随液体流到叶道内压力较高处时，外面的液体压力高于汽泡内的汽化压力，则汽泡又重新凝结溃灭形成空穴，瞬间内周围的液体以极高的速度向空穴冲来，造成液体互相撞击，对金属表面因冲击疲劳而剥裂。 泵壳 叶轮 气泡 .......... * 选用NPSH小的泵浦, 在安装时减少进口侧耳弯头,阀件使进水管通畅， 抬高进水压力，保证水管气密可有效减少气蚀的发生； 正常叶轮 叶轮 水泵壳体 气蚀产生振动和噪音; 气泡的馈灭使液体打击金属表面,造成对金属表面剥裂; 汽泡大量产生,会堵塞流道,使泵的流量、扬程、效率等均明显下降。 .......... * 2、热交换器：将系统负荷端产的热量通过热交换，传至冰水系统中； 管式交换器 板式交换器 按传热面的形状与结构来看，有管式和板式交换器； 厂区冰机 厂区冷热水交换 .......... * ? PCW采用的是板式热交换器： 冰水下进上出，PCW上进下出， 使冰水尽量带走热量，充分进行热交换，并保证PCW出水温度稳定； 侧面 板换与管路用橡塑材料 保温隔热处理 正面 冰 水 进 冰 水 回 P C W 进 P C W 回 .......... * 3、过滤器：过滤水中的固态微粒；选用的重点在于滤网滤径; – 将PCW送至机台前进行过滤，减少污染物影响制程； – 外壳材料为不锈钢制作，滤芯材质为聚丙烯滤芯； – 滤芯滤径为50μm； PCW IN PCW OUT PCW IN PCW OUT PCW OUT .......... * 4、桶槽:提供循环管路回水的暂存，或当补充水中断后暂时供系统提供用水； 也是管路中空气排放重要场所； – 材质一般为FRP（玻璃纤维强化塑料）或不锈钢制成； – 安装在泵的进水口，保证进水的稳定；或制程机台相对低点； – 因制程机台的不同需求，需要水质较好的水源供给（RO，DI水等）； DI补水 PCWR PCWS 安全阀 逸流管 排水阀 .......... * 5 、背压阀：它的功能实现在阀门前形成一定的压力，压力一般可以调节； 液体进入阀门后被膜片阻挡，于是液体对膜片产生向上的压力。当压力足够大时，弹簧被压缩，流体顶起膜片形成通道，从阀门出口流出；若流体压力不够，就会形成憋压，来保证管路压力维持在额定压力下； ? 背压安装每路支管路回水侧，以保证此支管路进机台的压力； .......... * --CONFIDENTIAL-- .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu PCW系统简介 .......... * 内容提要 PCW 维护 四. PCW 组成 三. PCW 架构 二. PCW 定义 一. PCW 异常教训 五. .......... * 一、PCW定义 ? 物体的热量一般在空气中以对流,传导,辐射三种方式在空气进行冷却； ? 热传递基本公式：Φ