电子显微微镜的讲义.pptVIP

第三部分 电子显微分析  电子显微分析 第一章电子显微鏡基本原理 1电子显微镜的发展简史 2电子波的波长 3电磁透镜 4电磁透镜的缺陷 5电磁透镜的景深和焦长 6电子显微镜的构成 了与光学显微镜的比较  电子显微分析第一章电子显微镜基本原理 1电子显微镜的发展史(1) 4E年得布罗意(me)出粒二象性假说 02E布什(8现了)转对不均的盛场源航束 0932年 柏林大学的克诺尔K0)斯Rua)出第合电镜 分辨率达到50m 199年德国西子公司生产出第-批商用透镜(点分辨z1mo 9年开始生产高压电镜(点分辨率优于03m晶格条续分辨优于 095年门1M明了多电子成像方法开创了高分辨电子显微术  电子显微分析第一章电子显微镜基本原理 1电子显微镜的发展简史(2) 电子显微镜的诞生,首先在医学生物上得到 应用,随后用于金属材料研究。 1949年海登莱西( Heidenreich)第一个用 透射电镜观察了用电解减薄的铝试样 50年代开始,电镜直接观察到位错层错等以 前只能在理论上描述的物理现象 1970年日本学者首次用透射电镜直接观察到 重金属金的原子近程有序排列,实现了人类两 千年来直接观察原子的夙思。  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 1电子显微镜的发展简史(3) 电子显微镜包括以下三种类型的仪器 扫描电子显微镜:用于微形貌观察、显微成 (SEM) 分分析 透射电子显微镜:用于微结构分析、微形貌 (TEM) 观察 电子探针:微区成分分析、显微形貌观察 (EPMA)  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 1电子显微镜的发展史(4) 光显微鏡的局限性 任何显微镜的用途都是将物体放大,使物体上的细微 部分清晰地显示出来,帮助人们观察用肉眼直接看不见 的东西 假如物体上两个相隔一定距离的点,利用显微镜把他 们区分开来,这个距高的最小极限,即可以分辨的两个 点的最短距髙称为显微镜的分辨率,或称分辨本领。 人的眼睛的分辨本领为0.5mm左右。一个物体上的两 个相邻点能被显微镜分辨清晰,主要依靠显微镜的物镜。 假如在物镜形成的像中,这两点未被分开的话,则无论 利用多大倍数的投影镜或目镜,也不能再把它们分开。  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 1电子显微镜的发晨简史(5) 根据光学原理,两个发光点的分辨距离为 61元 △r ∧o:两物点的间距 人:光线的波长; n:透镜周围介质的折射率 Nina:数值孔径,用NA表示。 将玻璃透镜的一般参数代入上式,即最大孔径半角 a=70-75°,在介质为油的情况下,n=1.5,其数值孔径 sina=125-135.上式可化简为  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 1电子显微镜的发展简史(6) △ro≈2 这说明,显微镜的分辨率取决于可见光的波卡,而可 见光的波长范围为3900-7600A,故而光学显微镜的 分辨率不可能高于2000A  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 1电子显微镜的发展简史(7) 为进一步提高分辨率,噍一的可能是利用短波长的射 例如用紫外线(400nm)作光源,分辫率可提高 曾有人提出利用γ射线,当时在技术上比较困难,至 今仍没有很大发展。但电子的波动性被发现后,很快就 被用來作为提高显微镜分辨率的新光源即出现了电子 显微镜。目前电子显微镜的放大陪数已达到数十万倍, 这是光学显微镜所无法达到的。下面来计算电子束的波  [电子显微分析苇一电子風微镜基本原现 2电子波的波长(1) 已知电子東具有波动性,对于运动速度为V,质量为m 的电子波的波长为 久=h/mv 电子的速度V和加速电压U之间存在下面的关系 eU=1/2 mv2 (2eU/m)1/2 由此得=h/(2emU)1 带入h=662×1034J5, m=911×1031k e=160×10-19c后,得 入=12.25/U2 U的单位用伏特,的单位为A。