微加速度计的基本工作原理及工作特点课件.pptVIP

微加速度计的 基本工作原理 及工作特点 田源木 2620120007 2012.11.17 目录 1 、微加速度计简介 2 、微加速度计分类 3 、基本工作原理及工作特点 4 、总结 目录 1 、微加速度计简介 2 、微加速度计分类 3 、基本工作原理及工作特点 4 、总结 微加速度计简介 MEMS 器件 传感 器 执行 器 微加速度计 测量加速度 信号感知 信号转变 信号输出 偏置稳定性 1mg ，标度因数稳定性 1000pm 微加速度计简介 微加速度计 ? MEMS 技术的突出成果 ? 民用领域 ? 军事领域 汽车领域 汽车碰撞检测 安全气囊 战术武器 战术武器与战略武器： 战略针对整体性问题，战术针对局部性问题； 战略针对长期性问题，战术针对短期性问题； 战略针对基本性问题，战术针对具体性问题。 目录 1 、微加速度计简介 2 、微加速度计分类 3 、基本工作原理及工作特点 4 、总结 微加速度计分类 分类方式 多种多样 ? 有无反馈信号： ? 微型开环加速度计 ? 微型闭环加速度计 ? 敏感信号 方式： ? 微型 电容式 加速度计 ? 微型 压阻式 加速度计 ? 微型 压电式 加速度计 ? 隧道电流型 加速度计 ? 热对流式微加速度计 ? 加工方式： ? 微机械表面加工加速度计 ? 微机械体加工加速度计 ? 结构形式： ? 梳齿式微机电加速度计 ? “跷跷板” 摆式 微机电加速度计 ? “三明治” 摆式 微机电加速度计 ? 静电悬浮式微机电加速度计 ? 敏感轴数量： ? 单轴微机电加速度计 ? 双轴微机电加速度计 ? 三轴微机电加速度计 目录 1 、微加速度计简介 2 、微加速度计分类 3 、基本工作原理及工作特点 4 、总结 基本工作原理及工作特点 质量块的振动（移动） 质量块感知加速度 位移 发生变化 测量相应的物理量 整理后得到加速度 + ma kx cx mx ? ? 2 2 4 4 2 2 1 2 c c km c c km t t m m am x q e q e k ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 基本工作原理及工作特点 1 、压阻式微加速度计 ? 压阻效应： 在一块半导体的某一轴向施加一定 的应力时，其电阻率产生变化的现象。 ? 工作原理： 当有加速度输入时 , 悬臂梁在质量块受到的惯性力牵引下发生 变形，导致固连的 压阻膜 也随之发生 变形 ，其电阻值就会由于压 阻效应而发生变化，导致压阻两端的 检测电压值 （信号处理电路） 发生变化，从而可以通过确定的数学模型推导出输入加速度与输 出电压值的关系。 基本工作原理及工作特点 1 、压阻式微加速度计 ? 最早 出现的微加速度计 ? 优点： ? 结构简单 , 芯片的制作相对容易； ? 并且接口电路易于实现。 ? 缺点 : ? 温度系数比较大 , 对温度敏感 ; ? 灵敏度比较低 ; ? 蠕变和迟滞效应比较明显。 基本工作原理及工作特点 2 、电容式微加速度计 ? 基本原理 位移变化→电容变化 ? 工作原理 质量块由弹性微梁支撑连接在基体 上 , 检测电容的一个极板一般配置在 运动的质量块上 , 一个极板配置在固 定的基体上。当有加速度作用时，质 量块发生位移，上下电容发生变化， 可以得到 电容变化差值 ，进而得到加 速度。 基本工作原理及工作特点 2 、电容式微加速度计 ? 优点： ? 灵敏度和测量精度高 ? 稳定性好 ? 温度漂移小 ? 功耗极低 ? 过载保护能力较强 ? 缺点： ? 读出电路复杂 ? 易受寄生电容影响和电磁干扰 基本工作原理及工作特点 3 、电容扭摆式微加速度计 基本原理与电容式微加速度计相同，结构不同。 敏感单元是不对称质量平板，通过扭转轴与基座相连，基座上表 面布置有固定电极，敏感平板下表面有相应的运动电极，形成检测电容 当有加速度作用时，不对称平板在惯性力作用下，将发生绕扭转轴的转 动。 当质量平板发生偏移时，可以利用电容的静电力来调节平板的偏 转角度，提高系统的测量范围，改善系统的 动态特性 。 基本工作原理及工作特点 4 、压电式微加速度计 ? 压电效应： 电介质在沿一定方向上受到 外力而 变形 时，其内部会产生极化现象，同 时在它的两个相对表面上出现正负相 反的电荷。 ? 工作原理 在弹性梁上覆盖一层 压电材料膜 ，上电极和下电极分别分布在压电材 料膜的上表面和下表面上，当有外界加速度口作用于敏感质量块时，弹 性梁上会产生应力大小变化，由于压电效应作用，器件结构的上电极和 下电极间会产生 电压 ，由此可通过 测量电压 （信号处理电路）的变化来 得知外界加速度的变化。 基本工作原理及工作特点 4 、压电式微加速度计 ? 优点： ? 结构比