半导体前道检测设备行业专题报告.docxVIP

目录 新兴领域需求旺盛，半导体行业进入上行周期 5 5G 手机、自动驾驶和数据中心等新兴领域将是主要驱动力 6 中国大陆半导体增速明显高于世界水平，但自给率依然较低 7 中国大陆晶圆厂资本开支加速扩张，国产设备进口替代势在必行 11 半导体先进制程发展驱动设备支出加速增长 12 本土晶圆厂数量快速增长，国产半导体设备发展进入景气周期 13 半导体检测重要性不断提升，前道检测领域KLA 龙头优势明显 15 半导体检测重要性不断提升 15 科磊半导体（KLA）-全球半导体前道检测先驱 18 国产前道检测设备迎头追赶 22 睿励科学仪器（上海）-国产半导体前道光学检测设备领跑者 22 中科飞测-中科院深入合作企业，已进入国内领先逻辑和存储厂 24 上海精测-聚焦椭圆偏振技术，膜厚量测产品已进入领先存储厂生产线 25 赛腾股份-并购 Optima，强势切入国内半导体前道缺陷检测设备领域 27 风险提示 28 图表目录 图 1：半导体功能与结构细分 5 图 2：2018 年全球半导体市场产品结构 5 图 3：半导体产业链 6 图 4：半导体制造工艺流程 6 图 5：全球半导体销售额（百万美元） 7 图 6：中国大陆集成电路增速与世界半导体增速比较 8 图 7：中国大陆集成电路进出口占比