材料研究分析方法(研究生)-第3-4讲.pptVIP

第3讲 X射线衍射方向与强度;入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积) (b)重元素样品的电子束散射区域形状(半球形作用体积) 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积 ;衍射现象 ;2d sinθ = nλ;布拉格方程的应用：1）已知波长λ的X射线，测定θ角，计算晶体的晶面间距d，物相组成、结构分析；2）已知晶体的晶面间距，测定θ角，计算X射线的波长，X射线光谱学。;二、X射线衍射束的强度;图1 实际晶体的衍射强度曲线（a）和理想状态下衍射强度曲线（b）的比较;设晶粒内的单胞为平行六面体，沿点阵基矢 、 、 方向上各含有N1、N2和N3个晶胞，这个晶粒所包含的总晶胞数为N=N1N2N3。 设其中一个晶胞O位于原点，坐标为(0,0,0)，任意晶胞A坐标为(m,n,p)，则两晶胞连接矢量： ;晶粒内任意晶胞散射波振幅可表示为：;所以;其中;所以; 式(4)说明是干涉函数是晶粒散射波强度和晶胞散射波强度的比值。 干涉函数描述晶粒尺寸的大小对散射波强度的影响，三个因子分别描述在空间三个不同方向上衍射强度的变化，其作用是类似的。 以?G1?2为例，整个函数由主峰和副峰组成，两个主峰之间有N1个副峰。 主峰的最大值可用罗必塔法则求得： 令;则;衍射晶面位向与精确布拉格条件的允许偏差(以仍能得到衍射强度为极限)和样品晶体的形状和尺寸有关，这可以用倒易阵点的扩展来表示。;倒易点阵扩展;倒易阵点是数学意义的几何点，真实晶体的大小都是有限的，晶体内部都有各式各样的晶体缺陷，相应的倒易阵点也有一定的大小和几何形状。衍射束的强度分布有一定的角度范围。布拉格方程虽不能严格成立，但也能产生衍射。;倒易杆;衍射仪测角仪示意图;三、X射线准直和单色化 由于光源引出的射线束的发散角度和频谱范围都比较宽。这样，会引起相应散射峰的展宽及相邻散射峰的叠加。因此，需要在光源与样品之间以及样品与探测器之间放置相应的光学元件来实现入射X射线束的准直和单色化。常用的准直器有狭缝、准直镜、分析晶体等，在X射线范围内实现单色化的常用光学元件主要是晶体单色器和多层膜单色器等光学元件。;（1）狭缝 在光源与样品之间放置一狭缝（图2），则入射光束的发散角?决定于光源尺寸S、狭缝宽度L以及光源与狭缝间距离R，即有 （1） 可以看出，对于单狭缝系统，光束的发散角不小于光源尺寸与光源狭缝间距的比值。如果在光源及狭缝间距受限的情况下需要更小的发散角，可利用靠近光源点或其像点的双狭缝系统来实现（图3）。此时发散角满足关系;图2 单狭缝系统光束发散角示意图;2、双晶单色器 利用晶体对X射线进行单色化。晶体衍射的布拉格定律表示为 2dsin?=? （3） 从式（3）可知，对于一定角度入射的X射线，只有波长满足布拉格方程才能被晶体衍射。图是根据式（3）得到的入射线波长?与布拉格角?的关系，称为DuMond图。利用DuMond图可以直观地分析实验系统的波长发散和角度发散。 若具有一定角度发散度、波长连续的X射线束入射到晶体上，根据式（3）可以得到出射X射线的波长发散??（又称出射X射线的能量分辨率），满足 ?? ＝? ?cot? （4） 式中?为入射线的发散角，这种关系可由DuMond图示意表示（图4）;图4 Si(111)晶体衍射DuMond图;由式（3）的简单关系得到的X射线能量分辨率，在?远大于晶体X射线衍射摇摆曲线本征宽度（Darwin宽度）?D条件下成立。若?与?D相当，则能量分辨率需通过考虑入射线角分布与晶体X射线衍射摇摆曲线的卷积来得到， ?D为入射线衍射动力学理论完美晶体X射线衍射摇摆曲线半高宽，满足以下关系： （5） 式中，Fb为结构因子；C为偏振因子；b为晶体衍射非对称因子，b＝sin（?B-?）/sin（ ?B+? ）,?为斜切角，也就是衍射晶面与晶体表面的夹角；V为晶胞体积；re为电子半径。;图6 双晶单色器的两种排置方式;如果在第一块晶体后面再增加一块相同的晶体，即组成双晶单色器。对于对称布拉格型衍射而言，有两种排置方式，分别以(＋n，-n)及(＋n，＋n)表示。 图7是相应图6衍射几何的DuMond示意图，可以看到，对（＋n，-n）排